지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학위논문
- 저자정보
- 지도교수
- 양영수
- 발행연도
- 2016
- 저작권
- 전남대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.
이용수1
이 논문의 연구 히스토리 (2)
- 이 논문의 후속연구가 궁금하신가요?
- 연관 학술논문 또는 학술발표를 통해 보다 발전된 연구결과를 확인하실 수 있습니다.
- 이 논문의 연구 히스토리 확인하기
초록· 키워드
오류제보하기
본 연구에서는 마이크로/나노 패턴이 집적화 된 신축성 열가소성 엘라스토머 필름의 제작을 위하여 압축성형 및 모세관력 리소그래피 공정을 진행하였다. 먼저 신축성 필름 제작을 위하여 온도 및 시간을 공정 변수로 두어 압축성형을 진행하였다. 공정 조건에 따라 측정된 필름의 사이즈와 압착유동의 관계식을 이용하여 점도를 구하였으며 계산된 점도 값은 WLF 모델 및 아레니우스 식을 이용하여 검증하였다. 다음으로 제작된 신축성 필름의 표면에 마이크로/나노 패턴의 성형을 위하여 PDMS 몰드를 이용한 모세관력 리소그래피 공정을 진행하였다. 하지만 PDMS가 가지는 낮은 표면에너지 및 소수성 특성 때문에 모세관력 리소그래피 공정 중 충분한 모세관력을 발현하지 못 할 수 있다. 따라서 본 연구에서는 계면활성제 중 하나인 Silwet L-77을 첨가하여 친수성 PDMS 몰드를 제작하였으며 일반적인 PDMS 몰드와 성형성을 비교한 결과, 17% 가량 높은 성형성을 확인하였다. 또한 최적의 공정조건을 도출하기 위하여 실험계획법 중 하나인 다구치 방법을 이용하여 모세관력 리소그래피의 주요 공정조건인 온도, 시간, 압력 등 각각의 인자가 성형성에 미치는 영향을 분석하였다. 최적의 공정조건을 이용하여 제작된 마이크로 구조의 표면상에 모세관력 리소그래피를 이용한 나노 패턴 성형을 수행함으로써 마이크로/나노 패턴이 집적화 된 신축성 필름을 제작할 수 있었다.
목차
국문초록1.서론1.1연구배경1.2연구목적2.재료 및 성형공정2.1열가소성 엘라스토머2.2모세관력 리소그래피3.신축성 필름 성형3.1압축성형3.2공정조건의 영향3.3압착유동3.4모델검증4.모세관력 리소그래피 - 마이크로 구조 성형4.1실험계획법4.2성형 결과 및 토의4.2.1 성형된 마이크로 패턴의 측정 결과4.2.2 성형성 분석5.모세관력 리소그래피 - 마이크로/나노 구조 성형5.1실험방법5.2성형 결과 및 토의6.결론참고문헌Abstract
최근 본 자료
댓글(0)
0