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이용수14
2017
국 문 초 록 iv영 문 초 록 v목 차 viList of Figures viiList of Tables ix1. 서 론 12. 이론적 배경 42.1 파워모듈의 개념 및 기능 42.2 SiC & GaN 반도체 소자의 발전 62.3 Transient Liquid Phase (TLP) Bonding의 정의 및 필요성 72.4 금속간화합물 (Intermetallic compound) 72.1.1 Cu-Sn system 82.1.2 Ni-Sn system 93. 실험방법 113.1 Coupon을 이용한 Cu-Sn & Ni-Sn TLP bonding 113.1.1 샘플 제작 113.1.2 신뢰성 평가 133.2 Chip과 DBC를 이용한 Ni-Sn TLP bonding 143.2.1 샘플 제작 143.2.2 신뢰성 평가 163.3 Chip과 DBC를 이용한 Cu-Sn TLP bonding 163.3.1 샘플 제작 163.3.2 신뢰성 평가 184. 결과 및 고찰 194.1 Cu-Sn & Ni-Sn TLP bonding 모식도 194.2 Coupon을 이용한 Cu-Sn & Ni-Sn TLP bonding 214.3 Chip과 DBC를 이용한 Ni-Sn TLP bonding 334.4 Chip과 DBC를 이용한 Cu-Sn TLP bonding 395. 결론 465.1 Coupon을 이용한 Cu-Sn & Ni-Sn TLP bonding 비교 465.2 Chip과 DBC를 이용한 Ni-Sn TLP bonding 465.3 Chip과 DBC를 이용한 Cu-Sn TLP bonding 476. 참고문헌 48
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