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논문 기본 정보

자료유형
학위논문
저자정보

김서영 (인하대학교, 인하대학교 대학원)

지도교수
황보창권
발행연도
2018
저작권
인하대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.

이용수7

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

초록· 키워드

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최근 나노, 디스플레이, 바이오 등의 첨단 산업분야에서 극초단, 고출력 펨토초 레이저를 이용한 패터닝 및 미세 커팅 가공기술이 활용되고 있다. 극초단 레이저 시스템의 펄스 모양 및 빔 초점을 조절하기 위해 복잡한 빔형성 광학계(beam shaping optics)를 활용하고 있으므로, 광학계를 통과한 후 펄스의 특성을 분석하는 것은 매우 중요하다. 특히 그룹지연분산을 정확히 계산 및 측정한다면, 광학계를 통과한 펨토초 펄스의 모양을 예상할 수 있고, 첩 펄스를 상쇄하는 보상설계가 가능하다.
본 연구에서는 근축광선추적 프로그램을 이용하여, 펨토초 펄스가 분산 매질, 프리즘, 회절격자 등을 진행할 때 분산특성인 그룹지연(GD), 그룹지연분산(GDD), 3차지연분산(TOD) 등을 계산하였다. 또한 펨토초 레이저의 펄스폭을 감소시키는 -GDD를 갖는 펄스 압축기와 +GDD를 갖는 펄스 확장기를 설계하였다. 따라서 분산 매질에 의해 늘어난 펄스 폭을 정확히 계산하고, 이를 상쇄하여 GDD를 0으로 만드는 보상설계가 가능하다.
본 연구 결과는 광학계를 통과한 극초단 펄스를 정밀하게 보정하는데 응용 할 수 있으며, 극초단 초고속 펨토초 레이저 광학계의 성능을 향상시키기 위한 최적화 절차에 활용 될 수 있다.

목차

제 1장 서론 8
제 2장 위상과 광학 부품의 분산 12
2.1 물질의 분산 18
2.2 프리즘 쌍에 의한 분산 22
2.3 회절격자 쌍에 의한 분산 26
제 3장 광선 추적을 이용한 분산 보상 설계 36
3.1 ZEMAX 매크로를 이용한 분산 계산 알고리즘 36
3.2 프리즘 쌍을 이용한 펄스 압축기 39
3.3 회절격자 쌍을 이용한 펄스 압축기 44
3.4 회절격자 쌍을 이용한 펄스 확장기 48
제 4장 펄스 압축기 설계 52
4.1 프리즘 쌍을 이용한 펄스 압축기 설계 52
4.2 회절격자 쌍을 이용한 펄스 압축기 설계 56
제 5장 펄스 확장기 설계 62
5.1 표준 펄스 확장기 설계 62
5.2 Oeffner 확장기 설계 69
제 6장 결론 73
참고문헌 75
부록 77

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