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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학위논문
- 저자정보
- 지도교수
- 한윤봉
- 발행연도
- 2018
- 저작권
- 전북대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.
이용수1
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The efforts on regulation and reduction of ozone-depleting substances (ODS) have been strengthened in the world. Decomposition of nitrogen tri-fluoride (NF3) gases used in semiconductor and display industries has received an attention due to the increasingly stricter regulation on their emission. In this study, we study a decomposition of NF3 gas by using a 2.45GHz microwave plasma torch that has several advantage of electrodeless discharge, thermal and large volume plasma. We designed a plasma reactor for increasing the flow rate of NF3 gases mixed in N2 gases, and decreasing a heat loss from the out of the reactor wall required for industrial use. Furthermore, in order to compare the destruction and removal efficiency (DRE) according to the type of oxidizing agent, we added a steam and oxygen into the plasma zone. The comparison results between steam and oxygen of oxidizing agent, we obtain improved results that plasma power decreased to 3kW over 99% DRE at flow rate of 0.3 Nm3/min. Detailed experiments were conducted on the abatement of waste gas in terms of DRE using Fourier Transform Infrared (FT-IR).
목차
1. 서 론 11.1 이론적 배경 41.2 플라즈마 81.3 마이크로웨이브 플라즈마 162. 실 험 장 치 242.1 마이크로웨이브 플라즈마 토치 272.2 가스 분해 반응기 322.3 스팀 공급장치 432.4 분석장치 442.4.1 분석방법 442.4.2 분해율 453. 실 험 473.1 산화제 산소를 이용한 NF3 분해실험 483.1.1 산소를 혼합한 모사가스 이용 NF3 분해실험 483.1.2 산화제 산소 방전관 주입 NF3 분해실험 563.1.3 산화제 산소 실험 비교 분석 633.2 산화제 스팀을 이용한 NF3 분해실험 653.2.1 산화제 스팀 주입 방향에 따른 NF3 분해의 영향 663.2.2 산화제 스팀 공급량에 따른 NF3 분해의 영향 694. 결 론 765. 참 고 문 헌 78
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