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이용수3
Ⅰ.서 론 ................................................................Ⅱ.이 론 적 배 경 ..........................................................Ⅱ-1. 적외선 소자 원리 및 기술동향...........................Ⅱ-2. 양자점의 성장법.....................................................Ⅱ-2-(1). Stranski-Krastanov(SK) 양자점.........................Ⅱ-2-(2). Sub-monolayer(SML) 양자점 ...........................Ⅲ.성장 장비 및 소자제작 공정 ................................Ⅲ-1 분자선 에피텍시(MBE) ............................................Ⅲ-1-(1). MBE 챔버 구성 .............................................Ⅲ-1-(2). 진공펌프 시스템 .............................................Ⅲ-2 양자점 적외선 감지소자 제작공정 ..............................Ⅳ. InAs 양자점 성장 및 측정 .......................Ⅳ-1. 구조에 따른 양자점 성장 및 특성확인 ......................Ⅳ-1-(1). 구조별 양자점 성장 .........................................Ⅳ-1-(2). X선 회절 및 광 발광 특성 측정 ..........................Ⅳ-1-(3). 적외선 파장 반응도 측정 ...................................Ⅳ-1-(4). 암전류 측정 ...................................................Ⅴ.결 론 ...............................................Ⅵ.참 고 문 헌 ..................................................
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