본 연구에서는 압전 액츄에이터 응용을 위한 우수한 압전 특성을 가지는 무연 압전 세라믹스를 개발하기 위하여 (Na,K,Li)(Nb,Sb,Ta)O3 세라믹스의 유전 및 압전특성의 개선을 위하여 전통적인 산화물 혼합방법을 사용하여 (Ba, Ca, Zr)O3 치환하고, CuO, MnO2, Li2O를 소결조제로 첨가하여 미세구조와 X-rd 패턴을 조사하였고, ATILA를 사용하여 적층 수에 따른 압전액츄에이터를 시뮬레이션 하여, 구동 주파수와 변위 특성을 관찰하였다. X-rd 패턴의 조사결과 시편에서 페로브스카이트(Perovskite) 구조를 갖는 사방정계(orthorhombic phase)상을 지닌다는 결과가 나타났다. 하지만 (Ba, Ca, Zr)O3 치환이 X= 0.015 이상에서는 능면체(rhombohedral)상과 정방정(tetragonal)상이 공존하는 morphotropic phase boundary(MPB)상의 형성을 확인하였으며 (Ba, Ca, Zr)O3 치환이 X= 0.02 일 때 ρ=4.6 g/㎤, kp=0.41, Qm=198, εr=1904, To-t=100 ℃, Tc=150 ℃, d33=260 pC/N의 우수한 유전 및 압전특성을 나타내었다. 또한, SEM분석결과 (Ba, Ca, Zr)O3 치환이 그레인의 성장을 개선시켰으며 1차 상전이(orthorhombic-tetragonal: To-t)온도는 80 ℃에서 100 ℃ 사이에서 존재하는 것으로 나타났고, 큐리온도(tetragonal-cubic: Tc)는 200 ℃에서 300 ℃사이에서 나타나는 것으로 확인 할 수 있다. 이 결과 (Ba, Ca, Zr)O3가 X= 0.02 치환된 조성이 압전 액츄에이터의 응용을 위한 장래성 있는 비납 압전재료의 후보자로 사료된다. ATILA를 사용하여 압전 액츄에이터의 적층수를 1층에서 6층까지 변화를 주어 시뮬레이션을 한 결과 적층 수에 따라 공진주파수가 170 Hz에서 1155 Hz까지 높아졌으며, 변위 또한 적층 수에 따라 증가하여 5층에서 44.56 ㎛로 최대 변위를 나타냈다.
In this study, (Na,K,Li)(Nb,Sb,Ta)O3 ceramics were fabricated as a function of (Ba, Ca, Zr)O3 substitution by conventional solid state reaction method in order to develop excellent lead-free piezoelectric ceramics composition for piezoelectric actuator and their dielectric and piezoelectric properties were investigated. The effects of (Ba, Ca, Zr)O3 substitution on microstructure and X-rd diffraction patterns of the ceramics were investigated. The X-rd diffraction patterns demonstrated that ceramics possessed pure perovskite structure with rhombohedral symmetry. However, the ceramics with x=0.02 the morphotropic phase boundary(MPB) achieves remarkable electrical properties:ρ=4.6 g/㎤, kp=0.41, Qm=106, εr=1904, To-t=100 ℃, Tc=150 ℃ and d33=260 pC/N. The SEM images of the sample showed that a certain amount of (Ba, Ca, Zr)O3 substitution could improve the crystalline grain growth. These result demonstrate that the ceramics (x=0.0.02) is an attractive candidate for lead-free piezoelectric actuator application. The multilayer piezoelectric actuator were simulated according to piezoelectric actuator layer by ATILA software. Numerical modelling based on the finite element method was performed to find the resonant frequencies of the actuator. The resonate frequency according to piezoelectric actuator layer was increased. Maximum displacements were generated in the center of multilayer piezoelectric actuator. Maximum displacement was 44.56 ㎛ from 5 layer piezoelectric actuator.
목차
국문요약제 Ⅰ 장 서 론1제 Ⅱ 장 이 론42-1. 압전효과42-2. 압전세라믹스의 특성72-3. 압전 액츄에이터17제 Ⅲ 장 실험 및 방법213-1. 시편의 제조213-2. 구조적, 전기적 특성의 측정263-3. 압전 액츄에이터의 ATILA 시뮬레이션 및 측정29제 Ⅳ 장 결과 및 고찰344-1. XRD패턴344-2. 미세구조 특성364-3. 유전 및 압전특성384-4. 유전상수의 온도의존성414-5. 분극-전계 히스테리시스 곡선434-6 압전 액츄에이터의 ATILA 시뮬레이션 특성44제 Ⅴ 장 결론50영문초록55