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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학위논문
- 저자정보
- 지도교수
- 황희윤
- 발행연도
- 2019
- 저작권
- 안동대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.
이용수3
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In this study, a process for the fabrication of large area micro-nano hierarchical structures for synthetic dry adhesives. PDMS and MWCNTs, which are widely used in synthetic dry adhesives, are considered in this work. The process can be divided into dispersion, molding, and etching. In order to determine efficient processing conditions, we measured degree of cure and viscosity of PDMS by DSC test and rheolometry, From analyses of fracture surfaces of MWCNT-PDMS microstructures, we obtained alignment angles and areal densities of MWCNTs with respect to the weight ratio of MWCNTs and fabrication conditions. Also, we investigated wet etching process to determine etching solution and etching duration by checking surface quality of microstructures, length, areal density and alignment angle of exposed MWCNTs. As a result of the experiment, the length of the nanostructure was about 140 nm to 150 nm and areal density was 27 to 34 /25um2 when 7 wt% functionalized MWCNTs and NMP-TBAF etching solution were used ad etching duration was 2 to 3 min. However, when the preservation of the column is focused on, it is seen that the specimen which has been etched for 2 minutes shows less of the pillars lying down or falling off. This is because it is considered that the etching time is required but the fixing force of the bottom part is lowered when the etching time is longer.
목차
제 1 장 서 론 11.1 연구배경 11.2 문헌조사 31.3 연구내용 5제 2 장 마이크로 구조 제조 공정 연구 62.1 재료 선정 62.1.1 PDMS (Polydimethylsiloxane) 62.1.2 MWCNT (Multi wall Carbon Nanotubes) 72.2 실험방법 72.2.1 DSC Test 실험방법 72.2.2 점도 실험방법 92.3 실험결과 92.3.1 DSC 결과 9제 3 장 PDMS 마이크로 구조물 내 MWCNT 정렬 133.1 시험방법 133.1.1 MWCNT-PDMS 마이크로 구조 제작 133.1.2 단면 관찰용 시험편 제작 153.1.3 MWCNT 분포 특성 실험 153.1.4 MWCNT 밀집도 및 정렬도 실험 153.2 MWCNT의 혼합 특성 시험 결과 173.2.1 분포 특성 183.2.2 MWCNT의 밀집도 및 정렬도 22제 4 장 선택적 식각을 이용한 마이크로-나노 계층구조 제작 254.1 선택적 식각에 의한 표면 특성 분석 254.1.1 실험방법 254.1.2 실험결과 264.2 식각 조건에 따른 선택적 식각 특성 분석 294.2.1 실험 방법 294.2.2 실험 결과 314.3 200㎛ 단일기둥 시험편 실험 324.3.1 실험 방법 334.3.2 실험 결과 334.4 COOH-MWCNT가 함유된 PDMS의 식각 양 및 계층구조 확인 354.4.1 실험 방법 364.4.2 실험 결과 36제 5 장 결 론 42참고문헌 43Abstract 46이력서 48감사의 글 52
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