지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학위논문
- 저자정보
- 지도교수
- 옥종걸
- 발행연도
- 2018
- 저작권
- 서울과학기술대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.
이용수4
이 논문의 연구 히스토리 (3)
2018
- 이 논문의 후속연구가 궁금하신가요?
- 연관 학술논문 또는 학술발표를 통해 보다 발전된 연구결과를 확인하실 수 있습니다.
- 이 논문의 연구 히스토리 확인하기
초록· 키워드
오류제보하기
본 연구에서는 현재 활발히 응용 연구되고 있는 나노패턴의 기계가공원리 기반 고효율 고속 제작을 실현한 연속적 나노각인공정을 소개하고, 이에 대한 공정 분석 및 최적화를 통해 목표 응용에 정확히 대응할 수 있는 맞춤형(application-specific) 패터닝 방안을 제시하였다. 나노각인공정의 주요 변수인 공정 속도, 공정 압력, 공정 온도를 제어하며 각 변수가 나노패턴 각인 정도에 미치는 영향을 분석하였다. 동시에, 나노각인공정 기본 원리를 변용한 여러 가지 확장 공정 또한 보였다. 우선, 몰드를 기울여 깊이 구배를 갖는 나노패턴을 간단히 제작함으로써 이를 통한 응용에 기여하고자 하였다. 또한, 몰드를 z축 방향으로 회전한 상태로 나노각인공정을 진행하여 몰드상 곧은 그레이팅 나노패턴을 기판상 기울어진 그레이팅 나노패턴으로 변환하는 공정을 제시하였다. 이를 통해 손쉬운 공정 진행으로 기울어진 패턴을 높은 전사율로 변환 가공할 수 있음을 보였고, 이는 기존의 기울어진 패턴 가공 공정의 복잡성 및 고비용을 대폭 해결할 가능성을 제시하였다. 또한, 연속적 대면적향 나노패터닝을 가능케 하는 롤투롤 나노임프린팅 시스템을 데스크탑 규모로 구축하여 다양한 응용 및 양산화로의 발판을 마련하였다. 이렇게 구축된 롤투롤 임프린팅 시스템을 통해 임프린트 공정 분석 및 최적화를 수행하였다. 나아가, 상기 나노각인공정 및 롤투롤 임프린팅 공정 기반 대면적 디스플레이 및 유연 플라즈모닉 바이오센서의 응용 개발 방안도 함께 탐구하였다.
목차
Ⅰ. 서 론 11.1 연구 배경 11.2 연구 내용 및 목적 2Ⅱ. 연속적 나노각인공정 분석 및 응용 32.1 나노각인공정 개요 32.2 장비 및 구동 설명 52.3 나노각인공정 원리 분석 및 최적화 82.4 나노각인공정의 확장 응용 21Ⅲ. 롤투롤 나노임프린팅 공정 분석 및 응용 283.1 롤투롤 나노임프린팅 시스템 구축 및 분석 283.1.1 데스크탑 롤투롤 나노임프린트 시스템 구축 283.1.2 나노임프린트 공정 분석을 통한 최적화 393.2 롤투롤 나노임프린팅 공정 응용 483.2.1 롤투롤 나노임프린팅을 활용한 유연 플라즈모닉 센서 개발 483.2.2 초미세 입자별 크기 센싱을 위한 롤투롤 나노임프린팅 응용 56Ⅳ. 결 론 62참고문헌 63영문초록 (Abstract) 66감사의글
최근 본 자료
댓글(0)
0