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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학위논문
- 저자정보
- 지도교수
- 김영도
- 발행연도
- 2020
- 저작권
- 한양대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.
이용수3
이 논문의 연구 히스토리 (4)
1997
FHD에 의해 제조된 광소자용 실리카 박막에서 B2O3와 GeO2가 상분리 및 광도파특성에 미치는 영향 ( Effect of B2O3 and GeO2 on the Waveguide Characteristics and Phase Seperation of Silica Glass Film for Optical Device Fabricated By FHD Method )
백수현
,
이용태
,
고한준
외 2명
대한전자공학회 기타 간행물
1997.01
연구보고서
FHD에 의해 제조된 광소자용 실리카 박막에서 B2O3와 GeO2가 상분리 및 광도파특성에 미치는 영향 ( Effect of B2O3 and GeO2 on the Waveguide Characteristics and Phase Seperation of Silica Glass Film for Optical Device Fabricated by FHD Method )
백수현
,
이용태
,
고한준
외 2명
한국통신학회 기타 간행물
1997.01
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본 연구의 주요 목표는 저온에서 소결 가능하며 높은 굽힘 강도를 가진 AlN 세라믹 기판의 제조이다. 일반적인 AlN의 강도 향상 방법으로는, 첨가제를 사용하여 입자 성장을 제한함으로써 입자크기를 감소시키거나 첨가제에 의해 생성된 이차상으로 슬립계(Slip system)의 피닝(Pinning) 및 균열의 전파를 방해하는 방법이 있다. 반면 위와 같은 첨가제의 영향에 의해 열전도도는 감소하게 되는데, 열전도도의 손실을 최소화하며 강도를 향상시키는 방법에 대해 연구를 같이 진행하였다. AlN을 저온에서 소결하면서 열전도도를 향상시키기 위해 MgO-CaO-Al2O3-SiO2 (MCAS glass)와 Y2O3를 첨가제로 선정하였고, 강도 향상을 위해 Yttria-stabilized zirconia (YSZ) 추가로 첨가하였다. 성형체는 1600 ℃에서 1시간 동안 무가압 소결한 뒤 YSZ 함량에 따른 강도 향상 효과와 열전도도 저하 효과를 비교하였다. 1 wt% MCAS glass-3 wt% Y2O3-1 wt% YSZ 조성에서 가장 높은 굽힘 강도 값을 갖게 되었으며, 열전도도 값 또한 높은 값을 유지할 수 있었다. MCAS glass는 녹는점이 낮아 저온에서의 AlN의 액상 소결을 위한 첨가제로서 사용되었고 Y2O3, YSZ는 각각 열전도도와 기계적 강도를 향상시키기 위해 첨가제로 사용되었다. 소결된 AlN의 열전도도와 굽힘 강도를 평가하였고, 그 결과 1 wt% MCAS glass-3 wt% Y2O3-1 wt% YSZ 조성에서 약 608 MPa로 가장 높은 강도 값과 약 109 W/m·K의 열전도도 값을 가졌다.
목차
목 차국문요지 ?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????ⅲ제 1 장 서론 ????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????1제 1 절 AlN의 특성 및 응용 ???????????????????????????????????????????????????????????????1제 2 절 AlN의 기계적 물성 향상 ???????????????????????????????????????????????????????7제 3 절 연구목적 ??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????10제 2 장 실험 방법 ????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????14제 1 절 원료분말 및 첨가제 조성 ????????????????????????????????????????????????????14제 2 절 테잎 캐스팅 공정에 의한 AlN 적층 기판 제조 ?????????????19제 3 절 AlN 적층 기판 탈바인딩 및 소결 ?????????????????????????????????????26제 4 절 AlN 소결 기판 특성 분석 ???????????????????????????????????????????????????30제 3 장 결과 및 고찰 ??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????38제 1 절 MCAS-Y2O3 첨가에 따른 AlN 소결 특성 ???????????????????????38제 2 절 YSZ 함량에 따른 AlN-1M3Y 소결체의 특성 ??????????????????43가. 소결밀도 ???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????43나. XRD 상분석 ??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????45다. 미세구조 ???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????47라. 열전도도 ???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????52마. 기계적 물성 ?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????54제 4 장 결론 ??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????60제 5 장 참고문헌 ??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????62제 6 장 표 및 그림 목록 ????????????????????????????????????????????????????????????????????????68ABSTRACT ?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????71
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