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이용수33
Ⅰ. 서론 1Ⅱ. 이론 41. 실리콘 박막 태양전지 4가. 비정질 실리콘 4나. 미세결정질 실리콘 7다. 탠덤 실리콘 태양전지 9라. 태양전지 원리 112. 양면 태양전지 16가. 구조 16나. 재료, 실리콘 카바이드 193. 광 조사량 20Ⅲ. 실험 방법 251. 실리콘 박막 태양전지 제조 방법 25가. AZO Sputter 25나. PECVD 29다. 후면전극 증착 332. 측정방법 36가. 격자구조, 계면분석 및 표면분석 36나. 전기적, 광학적 특성분석 38다. I-V 특성분석 41라. 양자효율 특성분석 45Ⅳ. 실험 결과 471. 기판 특성분석 472. 단위 박막 비정질 및 미세결정질 실리콘 특성분석 533. 비정질 실리콘 박막 태양전지 특성분석 56가. 광흡수층 두께별 특성분석 58나. p층 두께별 특성분석 66다. 광량 변화에 따른 태양전지 특성분석 714. 미세결정질 실리콘 박막 태양전지 특성분석 745. 탠덤 실리콘 박막 태양전지 특성분석 83Ⅴ. 결론 91참고문헌 94Abstract 98
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