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이용수8
2020
Ⅰ. 서론 11. 연구의 필요성 및 목적 12. 가설 및 추진전략 7Ⅱ. 이론적 배경 101. 절삭공구의 최근 연구 동향 102. 절삭공구용 나노구조 코팅 종류 162.1. 나노스케일 다층 (superlattice) 코팅 162.2. 나노복합체 (nanocomposite) 코팅 182.3. 기능성 경사 (functional graded) 코팅 192.4. 절삭공구용 코팅막의 이상적 발전방향 213. 나노복합체 구조에서의 상분리 (phase segregation) 233.1. 스피노달 (spinodal) 상분리의 기초 233.2. 스피노달 상분리에 의한 비정질상의 형성 264. 다기능성 나노복합체 코팅막의 개발 배경 304.1. 경도와 결정립계 미끄럼 (grain boundary sliding) 현상 304.2. 나노복합체의 강화 기구 (hardening mechanism) 344.3. 파괴인성 (fracture toughness)과 경도/탄성계수 비율 364.4. 트라이볼로지 (tribology) 거동 404.5. 열적 안정성과 내산화 (oxidation resistance) 거동 445. 아크 이온 플레이팅 (arc ion plating) 코팅공정 시스템 465.1. 선형이온원 (linear ion source)의 구조 및 원리 465.2. I-V에 따른 플라즈마 밀도 측정 495.3. 플라즈마 에칭 (plasma etching) 공정 525.4. 글로우 방전 (glow discharge)과 아크 방전 (arc discharge) 556. Structure zone models 그리고 미세구조 제어 597. Cr-Al-Ti-Si-N 코팅막의 연구 동향 63Ⅲ. 실험 방법 641. 모재 전처리 공정 641.1. 물리적 및 화학적 전처리 방법 (1단계) 651.2. 플라즈마 이온세정 (2단계) 672. 코팅막 합성 (deposition) 682.1. 아크 이온 플레이팅 장치의 구성 682.2. 공정 변수 최적화 712.3. 열역학적 계산 712.4. 경사 기능성 코팅막(FGC'') 합성 723. 코팅막 조성 및 미세구조 분석 753.1. 조성 및 결정성 분석 753.2. 화학적 결합상태 분석 773.3. 표면 및 단면 관찰 783.4. 다기능성 코팅막 특성 평가 803.4.1. 경도 및 탄성계수 평가 803.4.2. 상온 및 고온 tribology 평가 823.4.3. 코팅과 모재간의 밀착력 평가 853.4.4. 잔류응력 평가 873.4.5. 고온 내산화성 평가 883.5. 코팅막 적용 공구의 성능 평가 903.5.1. 절삭 가공평가 시스템 구성 903.5.2. 절삭 공구의 성능 및 수명 평가 91Ⅳ. 실험 결과 및 고찰 931. 코팅의 조성 및 구조 예측 931.1. 코팅 형성을 위한 깁스자유에너지 (Gibb''s free energy of formation) 931.2. 평형 조성 (equilibrium composition) 951.2.1. Cr-Al-N 3성분계 961.2.2. Cr-Al-Si-N 4성분계 981.2.3. Cr-Al-Ti-Si-N 5성분계 1001.2.4. 코팅막 형성의 속도론적 관점 1042. WC-Co alloy 모재의 선정 및 준비 1052.1. WC-Co alloy 의 합성-소결-성형 1052.2. 소재 전처리 1092.2.1. 장입 전 전처리 공정 1102.2.2. 장입 후 전처리 공정 1113. 밀착층 및 중간층 1143.1. Cr/CrN 밀착층 1143.2. Cr-Al-N 코팅 및 공정 최적화 1153.2.1. 기판 바이어스 전압에 따른 공정 최적화 1153.2.2. 챔버 분위기 온도에 따른 공정 최적화 1183.2.3. 공정압력에 따른 공정 최적화 1203.3. Cr-Al-N 코팅 미세구조 1224. Cr-Al-Si-N 코팅막 (지지층) 1264.1. Cr-Al-Si-N 코팅의 미세구조 1264.2. Cr-Al-Si-N 코팅의 기계적 특성 1354.3. Cr-Al-Si-N 코팅의 내마모 특성 1404.4. Cr-Al-Si-N 코팅의 내산화 특성 1455. Cr-Al-Ti-Si-N 코팅막 (최종층) 1505.1. Cr-Al-Ti-Si-N 코팅의 미세구조 1515.2. Cr-Al-Ti-Si-N 코팅의 기계적 특성 1605.3. Cr-Al-Ti-Si-N 코팅의 내마모 특성 1645.4. Cr-Al-Ti-Si-N 코팅의 내산화 특성 1686. 나노복합체 코팅 적용 공구 절삭 가공 테스트 1766.1. 고온 마모 시험 1776.2. 절삭 가공 테스트 178Ⅴ. 결론 183참고 문헌 185부록 (appendix) 195영문 초록 (abstract) 211
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