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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학위논문
- 저자정보
- 지도교수
- 김상완
- 발행연도
- 2022
- 저작권
- 아주대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.
이용수45
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Tunnel field-effect transistor는 60 mV/decade 이하의 subthreshold swing (SS)을 구현할 수 있기 때문에 기존 metal-oxide-semiconductor FET (MOSFET) 기술을 계승 및 보완할 수 있는 차세대 저전력 반도체 소자로 많은 관심을 받고 있다. TFET의 즉각적인 complementary MOS (CMOS) 기술 도입을 위해서는 최신 MOSFET 기술인 FinFET과 구조적으로 유사해야 함은 자명하다. 동시에, TFET의 전기적 특성은 source-channel 접합에 크게 영향을 받는데, junctionless TFET은 이온 주입(ion implantation) 공정 대신에 전기적으로 유도된 pn 접합을 이용하기 때문에 공정 제약에서 비교적 자유로운 장점을 가지고 있다. 즉, fin 구조의 JL-TFET은 초저전력 반도체 소자로서 가능성이 크기 때문에 많은 연구가 진행되고 있다.
그러나 fin 형태의 채널 형성 과정에서 식각 변동(etching variation)에 의한 fin 경사 변동(fin slope variation)이 발생할 수 있으며, 이로 인해 fin 상부에 비해 하부의 폭이 넓어질 경우 게이트 장악력이 약화되어 SS가 열화된다. 따라서 본 연구에서는 이러한 특성 저하를 방지하기 위해, 채널의 아래 부분에 확장 게이트 구조를 도입된 JL-TFET을 제안하고, 그 전기적 특성을 technology computer-aided design (TCAD) 시뮬레이션을 활용해 확인했다.
그 결과, 확장 게이트로부터 발생하는 프린징 커패시턴스(finging capacitance: Cf)로 인해 채널의 표면 전위가 증가하고 게이트 장악력이 강해진다. 확장 게이트 길이에 따른 전기적 특성 변화는 Cf의 영향과 정전용량 모델(capacitance model)로 정략적으로 분석한다. 증가한 채널 표면 전위로 인해서 동작 전류 (on current: ION)와 SS이 향상된다. 3 nm의 확장 게이트 구조가 있을 때와 없을 때를 비교한 결과, 확장 게이트의 도입이 49.34%의 ION과 6.79%의 SS 향상을 보였다. 이러한 강한 게이트 장악력은 fin 경사 변동에 의한 SS 열화를 억제하는데도 도움이 된다. 최적 길이는 fin 경사 변동에 따른 최소 SS 변화를 기준으로 하였다. 그 결과, 4 nm가 최적화된 길이로 채택되었으며, 확장 게이트가 없을 때 보다 90°에서 78°까지의 fin 경사 변동으로 인한 SS 열화 현상이 59.2% 억제되었음을 확인하였다.
그러나 fin 형태의 채널 형성 과정에서 식각 변동(etching variation)에 의한 fin 경사 변동(fin slope variation)이 발생할 수 있으며, 이로 인해 fin 상부에 비해 하부의 폭이 넓어질 경우 게이트 장악력이 약화되어 SS가 열화된다. 따라서 본 연구에서는 이러한 특성 저하를 방지하기 위해, 채널의 아래 부분에 확장 게이트 구조를 도입된 JL-TFET을 제안하고, 그 전기적 특성을 technology computer-aided design (TCAD) 시뮬레이션을 활용해 확인했다.
그 결과, 확장 게이트로부터 발생하는 프린징 커패시턴스(finging capacitance: Cf)로 인해 채널의 표면 전위가 증가하고 게이트 장악력이 강해진다. 확장 게이트 길이에 따른 전기적 특성 변화는 Cf의 영향과 정전용량 모델(capacitance model)로 정략적으로 분석한다. 증가한 채널 표면 전위로 인해서 동작 전류 (on current: ION)와 SS이 향상된다. 3 nm의 확장 게이트 구조가 있을 때와 없을 때를 비교한 결과, 확장 게이트의 도입이 49.34%의 ION과 6.79%의 SS 향상을 보였다. 이러한 강한 게이트 장악력은 fin 경사 변동에 의한 SS 열화를 억제하는데도 도움이 된다. 최적 길이는 fin 경사 변동에 따른 최소 SS 변화를 기준으로 하였다. 그 결과, 4 nm가 최적화된 길이로 채택되었으며, 확장 게이트가 없을 때 보다 90°에서 78°까지의 fin 경사 변동으로 인한 SS 열화 현상이 59.2% 억제되었음을 확인하였다.
목차
제1장 서론 1제2장 소자 구조 및 형성 방법 8제1절 JL-TFET 소자 구조 8제2절 JL-TFET 동작 원리 11제3절 JL-TFET 공정 과정 14제3장 공정 variation에 따른 전기적 특성 18제1절 확장 게이트 유무에 따른 전기적 특성 18제2절 확장 게이트 길이에 따른 전기적 특성 28제4장 결론 31참고문헌 32
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