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이용수3
제 1 장 서 론 1제 2 장 이론적 배경 32.1 유연전자소자 32.1.1 유연전자소자의 정의 32.1.2 유연전자소자의 적용분야 52.2 박막의 파괴 62.2.1 박리 (Delamination) 62.2.2 파괴 (Fracture) 82.2.3 피로 파괴 (Fatigue) 102.3 증착방법의 종류 122.3.1 물리적 진공 증착법 (PVD) 122.3.2 화학적 진공 증착법 (CVD) 142.4 굽힘 변형 162.5 응력 부식 균열 17제 3 장 실험 방법 183.1 굽힘 피로 시험 시편 제작 183.2 환경 조건에 따른 굽힘 피로 시험 203.3 환경 조건에 의한 표면 및 피로 균열 확인 223.4 환경 조건에서 굽힘 피로 신뢰성 향상을 위한 표면 코팅 24제 4 장 실험 결과 및 고찰 264.1 변형률에 따른 Cu 박막의 환경적, 전기적 신뢰성 변화 264.1.1 평평한 상태에서 환경 조건에 따른 Cu 박막의 저항 변화 264.1.2 변형률 1.5%에서 환경 조건에 따른 Cu 박막의 피로 시험 304.1.3 변형률 2%에서 환경 조건에 따른 Cu 박막의 피로 시험 324.1.4 환경조건과 변형률에 따른 Cu 박막의 전기적 신뢰성 변화 344.2 Cu 박막 두께와 환경 조건에 따른 굽힘 피로 시험 364.2.1 환경 조건에 따른 100 ㎚ Cu 박막의 전기적 신뢰성 변화 364.2.2 Cu 박막 두께와 환경적 요소와의 전기적 신뢰성 연구 384.3 환경적 요소와 Cu 박막의 굽힘 피로 균열 404.3.1 상온에서 굽힘 피로 시험 이후 500 ㎚ Cu의 피로 균열 404.3.2 높은 습도 환경에서 Cu 박막의 굽힘 피로 균열 424.3.3 고온에서 굽힘 피로 시험 이후 Cu 박막의 피로 균열 444.3.4 온도와 습도가 Cu 박막의 굽힘 피로 균열에 미치는 영향 464.3.5 환경적 요소가 피로 균열에 미치는 영향 484.3.6 환경적 요소로 인한 피로 균열을 통해 발생하는 부식 현상 504.4 환경 조건에서 굽힘 피로 시험의 전기적 신뢰성 개선 534.4.1 Cu 박막 위에 Al 코팅 후 굽힘 피로 시험 534.4.2 Al 코팅 후 굽힘 피로 시험 이후 전기적 신뢰성 변화 55제 5 장 결론 57참고 문헌 58Abstract 63감사의 글 64
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