지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수11
2021
제 1 장 서론 1제 1 절 연구의 배경 1제 2 절 연구모델 정의 6제 2 장 이론적 배경 10제 1 절 기체의 운동 법칙 101. 평균자유행정 102. 전자에 의한 충돌전리 113. 이동도와 확산계수 134. 기체의 방전특성 16제 2 절 플라즈마(Plasma) 181. 플라즈마(Plasma) 정의 182. 디바이 길이(Debye length) 및 플라즈마 쉬스(sheath) 193. 플라즈마 내 양극성 확산(ambipolar diffusion) 22제 3 장 종래의 진공 측정기술 23제 1 절 진공 측정 기술 231. 진공의 정의 및 분류 232. 진공 측정 원리에 따른 진공게이지 분류 24제 2 절 진공인터럽터 진공도 측정 기술 261. Penning discharge 진공 측정 기술 292. Magnetron 진공 측정 기술 313. 부분방전(Partial discharge)을 이용한 진공 측정 기술 34제 4 장 진공인터럽터 진공도 실험 36제 1 절 실험 개요 361. 시료제작 362. 실험 회로 구성 37제 2 절 실험결과 및 분석 401. 진공도 정상 상태 시 아크쉴드 전압 특성 402. 진공도 대기압 상태 시 아크쉴드 전압 특성 433. 진공도 가변 상태 시 아크쉴드 전압 특성 49제 6 장 결론 61참고문헌 65Abstract 68
0