Analysis of Heat and Mass Transfer during Multi-Wafer Low Pressure Chemical Vapor Deposition Process

K. S. Pa ,  k ,  M. Choi

Heat Transfer Conference

1998 .08

저압 증기 화합물 증착 공정에서 복사열전달 및 물질전달 해석 ( Analysis of Radiative Heat Transfer and Mass Transfer During Multi-Wafer Low Pressure Chemical Vapor Deposition Process )

박경순 ,  최만수 ,  조형주

대한기계학회 논문집 B권

2000 .01

Modeling of Low Pressure Chemical Vapor Deposition of Polysilicon

In Chae Song

KITE JOURNAL OF ELECTRONICS ENGINEERING

1995 .01

A Study of Heat Transfer and Particle Deposition during Outside Vapor Deposition Process

Young Huei Song ,  Man Soo Choi ,  Shin Hyoung Kang

International Symposium on Transport Phenomena in Thermal Engineering

1993 .05

Low-Temperature Chemical-Vapor Deposition - A NOVEL THIN-FILM TRANSISTOR PROCESS -

Masakiyo Matsumu ,  a

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1993 .01

수정된 화학증착방법에서 비정상 열 및 물질전달 해석 ( A Study of Unsteady Heat and Mass Transfer in the Modified Chemical Vapor Deposition Process )

박경순 ,  최만수

대한기계학회 논문집 B권

1997 .01

광섬유 제조 Outside Vapor Deposition 공정에 관한 증착성능 연구 ( A Study of Particle Deposition During Outside Vapor Deposition Process )

송영휘 ,  최만수 ,  강신형

대한전자공학회 학술대회

1993 .01

광섬유 제조 Outside Vapor Deposition 공정에 관한 증착성능 연구 ( A Study of Particle Deposition during Outside Vapor Deposition Process )

송영휘 ,  최만수 ,  강신형

한국통신학회 광전자공학 학술회의

1993 .01

Outside Vapor Deposition 공정에 관한 열전달과 입자 부착에 관한 연구 ( A Study of Heat Transfer and Particle Deposition During Outside Vapor Deposition Process Outside Vaper Deposition )

송영휘 ,  최만수 ,  강신형

대한기계학회 춘추학술대회

1993 .01

AN EXPERIMENTAL STUDY OF PARTICLE DEPOSITION DURING THE OUTSIDE VAPOR DEPOSITION PROCESS

Jae Geol Cho ,  Jae Yun Kim ,  Man Soo Choi

KSME/JSME THERMAL and FLUID Engineering Conference

1996 .10

Chemical Vapor Deposition Processes in the Manufacture of Optical Fibers

Ralph G ,  eif

International Symposium on Transport Phenomena in Thermal Engineering

1993 .05

Direct Chemical Vapor Deposition Growth of ReS2 on Graphene

서지형 ,  이정현 ,  박혜성

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2017 .10

Formation of Multi-SOI Structures by Chemical Vapor Deposition

Gwiy Sang Chung

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

수정된 화학증착공정에서 에어로졸 역학 , 열전달 및 물질전달 해석 ( Analysis of Aerosol Dynamics , Heat and Mass Transfer in the Modified Chemical Vapor Deposition )

박경순 ,  이방원 ,  최만수

대한기계학회 논문집 B권

1999 .02

Effect of CH₄:H₂ Concentration for High Quality Graphene Synthesis on Copper Substrate Using Low Pressure Chemical Vapor Deposition

Kub ,  a Aydin ,  Hyeseon Lee 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2019 .05

New vapor-phase deposited polymer films by initiated chemical vapor deposition and their bio-device applications

임성갑

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2011 .10

Study of Cooling Rate on the Growth of Graphene via Chemical Vapor Deposition

서지형 ,  이정현 ,  장아랑 외 4명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2017 .04

레이저를 이용한 실리콘카바이드 화학증착에 관한 연구

이영림 ,  유재은

대한기계학회 춘추학술대회

2002 .05