Low Pressure Chemical Vapor Deposition 공정에서 복사열전달 및 물질전달 ( Analysis of Heat and Mass Transfer during Multi-Wafer Low Pressure Chemical Vapor Deposition Process )

박경순 ,  최만수 ,  조형주

대한기계학회 춘추학술대회

1998 .01

저압 증기 화합물 증착 공정에서 복사열전달 및 물질전달 해석 ( Analysis of Radiative Heat Transfer and Mass Transfer During Multi-Wafer Low Pressure Chemical Vapor Deposition Process )

박경순 ,  최만수 ,  조형주

대한기계학회 논문집 B권

2000 .01

A Study of Heat Transfer and Particle Deposition during Outside Vapor Deposition Process

Young Huei Song ,  Man Soo Choi ,  Shin Hyoung Kang

International Symposium on Transport Phenomena in Thermal Engineering

1993 .05

Modeling of Low Pressure Chemical Vapor Deposition of Polysilicon

In Chae Song

KITE JOURNAL OF ELECTRONICS ENGINEERING

1995 .01

Low-Temperature Chemical-Vapor Deposition - A NOVEL THIN-FILM TRANSISTOR PROCESS -

Masakiyo Matsumu ,  a

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1993 .01

Outside Vapor Deposition 공정에 관한 열전달과 입자 부착에 관한 연구 ( A Study of Heat Transfer and Particle Deposition During Outside Vapor Deposition Process Outside Vaper Deposition )

송영휘 ,  최만수 ,  강신형

대한기계학회 춘추학술대회

1993 .01

수정된 화학증착방법에서 비정상 열 및 물질전달 해석 ( A Study of Unsteady Heat and Mass Transfer in the Modified Chemical Vapor Deposition Process )

박경순 ,  최만수

대한기계학회 논문집 B권

1997 .01

Formation of Multi-SOI Structures by Chemical Vapor Deposition

Gwiy Sang Chung

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

Chemical Vapor Deposition Processes in the Manufacture of Optical Fibers

Ralph G ,  eif

International Symposium on Transport Phenomena in Thermal Engineering

1993 .05

AN EXPERIMENTAL STUDY OF PARTICLE DEPOSITION DURING THE OUTSIDE VAPOR DEPOSITION PROCESS

Jae Geol Cho ,  Jae Yun Kim ,  Man Soo Choi

KSME/JSME THERMAL and FLUID Engineering Conference

1996 .10

Multi Project Wafer 연구 ( Study on Multi Project Wafer )

곽명신 ,  권종기

특정연구 결과 발표회 논문집

1989 .01

Multi Project Wafer 연구 ( Study on Multi Project Wafer )

곽명신 ,  권종기

한국통신학회 학술대회논문집

1989 .01

광섬유 제조 Outside Vapor Deposition 공정에 관한 증착성능 연구 ( A Study of Particle Deposition During Outside Vapor Deposition Process )

송영휘 ,  최만수 ,  강신형

대한전자공학회 학술대회

1993 .01

광섬유 제조 Outside Vapor Deposition 공정에 관한 증착성능 연구 ( A Study of Particle Deposition during Outside Vapor Deposition Process )

송영휘 ,  최만수 ,  강신형

한국통신학회 광전자공학 학술회의

1993 .01

Direct Chemical Vapor Deposition Growth of ReS2 on Graphene

서지형 ,  이정현 ,  박혜성

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2017 .10

열역동력이 고려된 수평웨이퍼 입자침착 수치해석

유경훈 ,  오명도 ,  명현국

대한설비공학회 강연회 및 기타간행물

1994 .06

수정된 화확증착 ( MCVD ) 에서 열전달과 입자 부착에 관한 실험적 연구 ( An Experimental Study of Heat Transfer and Particle Deposition During the Modified Chemical Vapor Deposition Process )

조재걸 ,  최만수

대한기계학회 춘추학술대회

1994 .01

유하액막식 암모니아 흡수기에서 증기 유동방향에 따른 열 및 물질전달 특성

권경민 ,  정시영 ,  김병주 외 1명

설비공학논문집

2004 .01

레이저를 이용한 실리콘카바이드 화학증착에 관한 연구

이영림 ,  유재은

대한기계학회 춘추학술대회

2002 .05