Rapid Thermal Annealing System의 시험 제작 ( Experimental Results of a Prototype Rapid Thermal Annealing System )

조병진 ,  김경태 ,  김충기

대한전자공학회 학술대회

1986 .01

COMPUTER SIMULATION OF RAPID THERMAL ANNEALING OF THE SILICON OXIDE IN AMMONIA AMBIENT

H. Wong ,  Y. C. Cheng ,  P. T. Lai

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

B+ 및 BF2+ 가 이온 주입된 실리콘 웨이퍼의 Annealing 효과 ( Annealing Effect ofr the B+- and BF2+- Implanted Silicon Wafers )

권상직 ,  권오준 ,  정호선

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

REDISTRIBUTION OF ARSENIC DURING THERMAL OXIDATIONS OF ARSENIC IMPLANTED SILICON

Seong S. Choi ,  W. K. Chu ,  E. A. I 외 1명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

MEASUREMENT OF DIFFUSION PROFILE FOR BORON AND ARSENIC

김충기 ,  박형무

대한전자공학회 학술대회

1980 .01

대나무 섬유(BF) 및 PP/BF 복합체의 물성에 미치는 BF의 화학적 처리의 영향

이범희 ,  정다솔 ,  김철우 외 2명

공업화학

2018 .01

새로운 Annealing 방법 ( A New Annealing Method )

홍순관 ,  김철주 ,  박선우

대한전자공학회 학술대회

1988 .07

새로운 AnneaLing 방법

홍순관 ,  박선우 ,  김철주

대한전기학회 학술대회 논문집

1988 .07

대나무 섬유(BF) 실란처리가 폴리프로필렌(PP)/에틸렌-옥텐 고무/BF 복합체의 물성에 미치는 영향

이범희 ,  김진주 ,  정다솔 외 3명

폴리머

2017 .07

Rapid Thermal Annealing for the Thermal Oxidation and the Activation of implanted Impurities

Kazushige Ayukawa ,  Katsufusa Ayukawa

대한전자공학회 세미나

1992 .01

BF2+가 이온 주입된 코발트로부터 확산하여 얻어진 매우 얇은 p+ / n 접합의 형성 ( Formation of Ultra-shallow p+ / n Junction by Diffusion from BF2+ Implanted Co Metal )

이석운 ,  민경익 ,  주승기

대한전자공학회 학술대회

1991 .11

고로슬래그미분말을 혼입한 콘크리트의 염분침투성에 미치는 압축하중의 영향

김동훈 ,  임남기 ,  호리구치 다카시

한국건축시공학회지

2009 .01

Properties of Co-silicide prepared by rapid thermal annealing

엄우용 ,  장호정 ,  장지근 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

고속 열확산에 의해 제작된 다이오드의 Rapid Thermal Alloy ( Rapid Thermal Alloy of Fabricated Diode by Rapid Thermal Diffusion )

이동엽 ,  이영희

전자공학회논문지-A

1992 .02

Two-Step Rapid Thermal Diffusion of Phosphorus into Silicon from a Solid Diffusion Source

Jeong Gyoo Kim ,  Dong Youb Lee ,  Choong Ki Kim

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

급속 열처리 장치를 이용한 실리콘 산화막의 Annealing 효과 ( Effects of Annealing on Silicon Dioxide Using Rapid Thermal Process System )

박현우 ,  장현룡 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1988 .07

급속 열처리 장치를 이용한 실리콘 산화막의 Annealing 효과

박현우 ,  장현룡 ,  황호정

대한전기학회 학술대회 논문집

1988 .07

Rapid Thermal Annealing Using Vertical Movable Heat Treatment Equipment

Tong Gyu Kim ,  Kazushige Ayukawa ,  Katsufusa Shono

대한전자공학회 세미나

1991 .01

온도 조건에 따른 비소 이온의 수중 상태 변화 특성 및 독성 예측

원유라 ,  김동수

한국물환경학회지

2013 .01