전자 빔 리소그래피를 이용한 나노 소자 제작

박수연 ,  이승우 ,  이재종

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2006 .10

Fabrication of Nanometer Scale Structure Using Thin Film Stress

Dong Il Pa ,  k ,  Sung Ho Hahm 외 2명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Improvement of Overlay Accuracy in SR Lithography for Gigabit-Scale DRAM Fabrication

Muneyoshi Suita ,  Takashi Hifumi ,  Hi 외 9명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Current Status and Future of Electron Beam Lithography

백기호 ,  김영식

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Electron-Beam Lithography를 사용한 Sub-0.1㎛ T-Gate 제작에 관한 연구 ( Sub-0.1㎛ T-Gate Fabrication for Monolithic Microwave Integrated Circuits by Electron-Beam Lithography )

이수용 ,  신두식 ,  오재응 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1993 .01

E-Beam Lithography 기술

손상희 ,  곽계달

전자공학회잡지

1984 .10

Fabrication of in-Plane Gated Transistor with Electron-Beam lithography Technique

한철구 ,  김광무 ,  정석구 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

나노사출성형용 스탬퍼 제작을 위한 Electron beam lithography 패터닝 연구

엄상진 ,  서영호 ,  유영은 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2005 .10

A New Simulation Model of Electron Beam Lithography for Manufacturing

함영목 ,  이원규 ,  김수환 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Lithography Malignment 계측 정합성 향상을 위한 Overlay Mark Pattern 최적화

최병길 ,  최미니 ,  박주섭 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

E-beam Lithography ( Equipment )

박선우

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

Nanometer-Scale Lithography of the Ultrathin Films with Atomic Force Microscopy

Jin Chul Kim ,  Hai Won Lee ,  Yong Woo Shin 외 2명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Nanometer-Scale lithography of the ultrathin Films With Atomic Force Microscope

김진철 ,  이해원 ,  신용우 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

The fabrication of 10 nm scale complex patterns by repetitive secondary sputtering lithography and its display applications

전환진 ,  정현수 ,  정희태

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2012 .10

전자빔을 이용한 중금속이온 (Cr⁺⁶) 의 제거

권기식 ,  이홍승 ,  김병남 외 4명

대한환경공학회 학술발표논문집

1999 .04

Ion Beam Lithography for Submicron Structure Fabrication

백홍렬

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

Electron-Beam Lithograph를 이용한 Pattern 형성에 관한 연구 ( The Study of Pattern Formation Using Electron-Beam Lithography )

김학 ,  강호영 ,  이중현 외 1명

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

전자빔 가공장비용 소형 전자빔칼럼개발

강은구 ,  김진석 ,  김한수 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .06

E-beam lithography 를 이용한 0.1μm NMODFET 제작 ( The Fabrication of the 0.1μm NMOSFET by E-beam Lithography )

유상기 ,  김여환 ,  전국진 외 1명

전자공학회논문지-A

1994 .01

SPL에 의한 나노구조 제조 공정 연구

류진화 ,  김창석 ,  정명영

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2005 .10