Electron-Beam Lithography를 사용한 Sub-0.1㎛ T-Gate 제작에 관한 연구 ( Sub-0.1㎛ T-Gate Fabrication for Monolithic Microwave Integrated Circuits by Electron-Beam Lithography )

이수용 ,  신두식 ,  오재응 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1993 .01

STUDIES ON FABRICATION TECHNIQUES OF SUB-0.4μm T-GATE AND Γ-GATE STRUCTURES USING UV LITHOGRAPHY

Il Hyeong Lee ,  Sung Soo Kim ,  Yeon Sik Chae 외 2명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1995 .01

Current Status and Future of Electron Beam Lithography

백기호 ,  김영식

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

전자 빔 리소그래피를 이용한 나노 소자 제작

박수연 ,  이승우 ,  이재종

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2006 .10

E-Beam Lithography 기술

손상희 ,  곽계달

전자공학회잡지

1984 .10

A New Simulation Model of Electron Beam Lithography for Manufacturing

함영목 ,  이원규 ,  김수환 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Single Electron Transistors With Dual Gate Structure

김대환 ,  이종덕 ,  박병국 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

나노사출성형용 스탬퍼 제작을 위한 Electron beam lithography 패터닝 연구

엄상진 ,  서영호 ,  유영은 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2005 .10

E-beam Lithography ( Equipment )

박선우

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

Insulated Gate Transistor의 설계 및 제작 ( Design and Fabrication of the Insulated Gate Transistors )

김진형 ,  최연익

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

FABRICATION OF 0.4μm GATE PHEMT USING CONVENTIONAL OPTICAL LITHOGRAPHY

M. K. Gong ,  J. W. Yoon ,  S. G. Cho 외 3명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1995 .01

전자빔을 이용한 중금속이온 (Cr⁺⁶) 의 제거

권기식 ,  이홍승 ,  김병남 외 4명

대한환경공학회 학술발표논문집

1999 .04

Ion Beam Lithography for Submicron Structure Fabrication

백홍렬

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

Electron-Beam Lithograph를 이용한 Pattern 형성에 관한 연구 ( The Study of Pattern Formation Using Electron-Beam Lithography )

김학 ,  강호영 ,  이중현 외 1명

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

Sub-10nm Overlay Accuracy in Electron Beam Lithography for Nanometer-Scale Device Fabrication

K. Yamazaki ,  A. Fujiwa ,  a 외 5명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

전자빔 가공장비용 소형 전자빔칼럼개발

강은구 ,  김진석 ,  김한수 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .06

E-beam lithography 를 이용한 0.1μm NMODFET 제작 ( The Fabrication of the 0.1μm NMOSFET by E-beam Lithography )

유상기 ,  김여환 ,  전국진 외 1명

전자공학회논문지-A

1994 .01

CMOS Compatible Fabrication Technique for Nano-Transistors by Conventional Optical Lithography

C. Ho ,  st ,  K. T. Kallis 외 3명

JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE

2004 .03

저에너지 전자빔 리소그라피 공정용 소형 전자빔 칼럼 개발

김진석 ,  김한수 ,  이동윤 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .10

New Approach of Monte Carlo Simulation for Low Energy Electron Beam Lithography

Soo Hwan Kim ,  Young Mog Ham ,  Won Gyu Lee 외 1명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1997 .01