Challenges for Next Generation Photomask

Hi ,  oaki Mo ,  imoto 외 1명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

자체 검사를 이용한 포토마스크 결점 추출

최지희 ,  정홍

대한전자공학회 학술대회

2008 .06

Improved performance of multi tone masks by advanced compensation methods

Ekbe ,  g ,  Pete 외 2명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2009 .01

포토마스크 생산공정 FAB의 진동제어 설계 및 시공기술

강정호 ,  하동준 ,  조광수 외 2명

대한건축학회 학술발표대회 논문집 - 구조계

2006 .10

Laser Process Proximity Correction for Improvement of Critical Dimension Linearity on a Photomask

Jong Rak Pa ,  k ,  Hyun Su Kim 외 5명

[ETRI] ETRI Journal

2005 .04

Fabrication of controlled micro-pattern by droplet-based microfluidic photomasks

김주현 ,  정웅찬 ,  최재훈 외 2명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2012 .04

Reverse Design of Photomask for Optimum Fidelity and Process Margin in Optical Lithography

Yong Ho Oh ,  Sung Woo Lim ,  Jai Cheol Lee

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Optimum Photomask Design for Maximum Fidelity and Process Margin with a Monte-Carlo Method

Jai Cheol Lee ,  Yong Ho Oh ,  Sung Woo Lim

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1997 .01

Photomask를 이용한 electroetching의 부식거동

김동규 ,  이홍로

한국표면공학회지

1995 .04

High-Resolution and Low-Cost Ag Photomask Fabrication by Using Laser Direct Patterning Method

Jin-Ho Youn ,  Bong-Chul Kang ,  Jung-Hwang Pa 외 2명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2012 .10

A Study on Rapid Fabrication of Fine Electrode Pattern using Line Beam Laser and Ag Photomask

Jung Hwan Pa ,  k ,  Jin Ho Youn 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2013 .05

포토마스크 공정의 Plasma Etching 시 발생하는 Alumina Particle 개선

정유석 ,  박환욱 ,  정준화 외 4명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2014 .05

Electron Beam Lithography Simulation for the 1 Giga-Bit DRAM Photomask Manufacturing

Yoo Hyon Kim ,  Byung Cheol Cha ,  Hoong Joo Lee 외 2명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1997 .01

자체 검사를 이용한 포토마스크 결점 추출

최지희 ,  정홍

대한전자공학회 학술대회

2008 .06

Fabrication of Multiple Depth Microchannels Using Microfluidic Gray-scale Photomasks and Their Application for Microparticle Separation

남윤광 ,  김민석 ,  김태성

대한기계학회 춘추학술대회

2012 .05

Microfluidic droplet photomasks for creation of various hexagonal arrays of microdots

김주현 ,  최재훈 ,  심재영 외 3명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2014 .04

Photomask Defect Extraction Using Two Stages for Die-to-die Inspection Systems

Youngmin Ha ,  Hong Jeong

ITC-CSCC :International Technical Conference on Circuits Systems, Computers and Communications

2007 .07

Z-correction, a new method to improve TFT mask set overlay for TFT production yield enhancement

Ekbe ,  g ,  Pete 외 9명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2005 .01

포토마스크 결점 추출

하영민 ,  정홍

대한전자공학회 학술대회

2006 .11

Continuous Commissioning^® Process and Technology

David E. Cla ,  idge

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2006 .11