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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2006.10
- 수록면
- 17 - 20 (4page)
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The purpose of this study is to optimize the sub micro vibraion control through critical design factors and construction technology according to the design flow of the sub micro vibration control in the photomask process line factory. Refering to the development pace of nano technology, the basis of the sub micro vibration control design is to be focused on the photomask fab and is based on the data acquired by measurement on site. The results of this study were as follows; For the effective control of the sub micro vibration, design criteria by each stage and construction technology are associative.
목차
Abstract
1. 서론
2. 입지조건 및 영향 평가
3. 진동해석 및 평가
4. 시공기술
5. 결론
참고문헌
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