ADVANCED LITHOGRAPHY

Tsuneo Te ,  asawa

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1995 .01

Lithography 기술과 Trend에 대한 고찰

조한구

전자공학회지

2001 .08

New Developments in 1 : 1 Optical Lithography

Hwan J. Jeong ,  Dave Ma ,  kle

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

E-Beam Lithography 기술

손상희 ,  곽계달

전자공학회잡지

1984 .10

X-ray Lithography Technology

황기웅

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

Optical Lithography at Low K Factors

Ha ,  y Sewell

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Lithography 기술 현황 및 향후 전망

전국진 ,  오혜근 ,  김성주

전자공학회지

1992 .05

E-beam Lithography ( Equipment )

박선우

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

Fabrication of 3D Microstructures with Single uv Lithography Step

Man Hee Han ,  Woon Seob Lee ,  Sung-Keun Lee 외 1명

JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE

2002 .12

Roll mold용 180㎚ 급 대면적 (300㎜ × 900㎜) 패턴 제작

최수현 ,  김우영 ,  김석 외 1명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2020 .06

Quarter-Micron Lithography 개발 현황 및 향후 Advanced Lithography 기술 전개 방향

허훈

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Materials for Step and Flash Imprint Lithography

C. G ,  ant Willson ,  Jianjun Hao 외 18명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2006 .10

A Trend of Advanced Lithography Development

한오석 ,  이희국 ,  최민성

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

대면적 Lithography 장비의 Stage 설계에 대한 고찰

정준영 ,  이우영 ,  임경화 외 4명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2005 .01

SPL에 의한 나노구조 제조 공정 연구

류진화 ,  김창석 ,  정명영

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2005 .10

Ultra-extensive area symmetric block copolymer lithography enabled by I-line photo-lithography

진형민 ,  문형석 ,  정성준 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2012 .10

X-Ray Lithography With High Power Laser

Hong Jin Kong

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

Ultralarge-Area Block Copolymer Lithography Integrated with Conventional Lithography

김상욱 ,  정성준 ,  김봉훈 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2009 .10

21C Korean Lithography Roadmap

Ki-Ho Baik ,  Dong-Gyu Yim ,  Young-Sik Kim

대한전자공학회 학술대회

1999 .06

Performance of STM ( Scanning Tunneling Microscopy ) Controlled Electron Beam Lithography System

최호진 ,  박정영 ,  이용재 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01