Fabrication of 0.4μm Γ-GaAs Power MESFET's by Conventional UV Lithography

김성수 ,  이일형 ,  이진구 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

STUDIES ON FABRICATION TECHNIQUES OF SUB-0.4μm T-GATE AND Γ-GATE STRUCTURES USING UV LITHOGRAPHY

Il Hyeong Lee ,  Sung Soo Kim ,  Yeon Sik Chae 외 2명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1995 .01

다방향 자외선 노광법을 이용한 3차원 고종횡비 미소구조물 제작

박성민 ,  김종훈 ,  김도훈 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2015 .11

Roll mold용 180㎚ 급 대면적 (300㎜ × 900㎜) 패턴 제작

최수현 ,  김우영 ,  김석 외 1명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2020 .06

Polymeric Materials for Extreme UV Lithography

김재현 ,  이재우 ,  오승근 외 2명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2011 .04

Fabrication of functional ZnO nano-structures for optical devices by UV nanoimprint lithography

Han‐Byeol Jo ,  Kyeong‐Jae Byeon ,  Heon Lee

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .11

ADVANCED LITHOGRAPHY

Tsuneo Te ,  asawa

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1995 .01

Fabrication of Biocompatible Micro-Patterned PET Film via UV Imprint Lithography Technique

정민희 ,  육지호 ,  이승준

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2020 .10

Lithography 기술과 Trend에 대한 고찰

조한구

전자공학회지

2001 .08

Step & Scan Lithography for Mass Production Applications

Bill A ,  nold ,  Be 외 9명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Large-area and high-throughput fabrication of periodic structures by single beam laser interference lithography

Taejun Lee ,  Junsuk Rho

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .11

New Developments in 1 : 1 Optical Lithography

Hwan J. Jeong ,  Dave Ma ,  kle

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

E-Beam Lithography 기술

손상희 ,  곽계달

전자공학회잡지

1984 .10

UV-ILP 기반의 아크릴 레진을 통한 다양한 패턴 필름의 제작과 표면특성

이승준 ,  정민희

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2020 .06

임프린팅 및 UV경화조절을 통한 오버행구조의 제작

김선준 ,  신승항 ,  최현민 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2018 .12

Fabrication of two-dimensional sub-microstructure through polymerization

최원묵 ,  박오옥

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2002 .10

Ion Beam Lithography for Submicron Structure Fabrication

백홍렬

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

X-ray Lithography Technology

황기웅

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

Optical Lithography at Low K Factors

Ha ,  y Sewell

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01