RTA시스템에서의 Water의 온도 Simulation과 제어방법 ( Water Temperature Simulation and Control Algorithm in RTA System )

조병진 ,  김경태 ,  김충기

대한전자공학회 학술대회

1987 .05

열산화 T${a_2}{O_5}$박막에 미치는 RTA후처리의 영향

문환성 ,  이재석 ,  한성욱 외 4명

한국재료학회지

1993 .01

반응로 벽면 반사효과를 고려한 RTA 설계 ( RTA design considered reactor side wall reflex effect )

장현룡 ,  권경섭 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1988 .11

열산화 $Ta_{2}O_{5}$ 박막의 RTA후처리의 영향

문환성 ,  한성욱 ,  박상균 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

급속 열처리 시스템에서 웨이퍼의 온도 분포 예측 ( Temperature Simulation of Wafer in Rapid Thermal Processing System )

유영돈 ,  신현동 ,  김문언

특정연구 결과 발표회 논문집

1989 .01

급속 열처리 시스템에서 웨이퍼의 온도 분포 예측 ( Temperature Simulation of Wafer in Rapid Thermal Processing System )

유영돈 ,  신현동 ,  김문언

한국통신학회 학술대회논문집

1989 .01

산화물 박막 커패시터의 RTA 처리와 유전 특성에 관한 연구

김인성 ,  이동윤 ,  조영란 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2001 .11

Effects of Rapid Thermal Annealing Temperature on Performances of Nanoscale FinFETs

M. Sengupta ,  S. Chattopadhyay ,  C.K. Maiti

JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE

2009 .12

RTA에 따른 Sr_0.7Bi_2.3Nb₂O₉ 박막의 표면특성

김진사 ,  서동수 ,  신철기 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2013 .07

RTA에 적용이 가능한 붕소 확산 시뮬레이터의 제작

김재영 ,  홍신남

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

RTA에 적용이 가능한 붕소 확산 시뮬레이터의 제작 ( Design of Boron Diffusion Simulator Applicable for RTA )

김재영 ,  홍신남

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

Slip 현상을 줄이기 위한 RTA ( 고속열처리 ) 장치 설계모델링 ( RTA System Design Modeling to Reduce Slip )

장현룡 ,  한승윤 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1988 .07

Slip 현상을 줄이기위한 RTA(고속열처리)장치 설계모델링

장현룡 ,  한승윤 ,  황호정

대한전기학회 학술대회 논문집

1988 .07

Slip 현상 및 공정소모 POWER를 최소화하기 위한 RTA 제작 ( RTA Development to Minimize SLIP and Process Power Consumption )

권경섭 ,  장현룡 ,  황호정

전자공학회논문지

1989 .07

실리콘을 이온주입한 갈륨비소의 RTA에 의한 활성화 특성 ( Activation Characteristics of Si-Implanted GaAs by RTA )

심규환 ,  편광의 ,  박형무 외 1명

한국통신학회 학술대회논문집

1987 .01

실리콘을 이온주입한 칼륨비소의 RTA에 의한 활성화 특성 ( Activation Characteristics of Si-Implanted GaAs by RTA )

심규환 ,  편광의 ,  박형무 외 1명

특정연구 결과 발표회 논문집

1987 .01

반도체 웨이퍼의 온도 측정에 관한 연구

이욱현 ,  조종표 ,  정학근 외 2명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2015 .06

증착온도와 RTA 후처리에 따른 PECVD-W의 Contact 특성

김형섭 ,  김영선 ,  박병률 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

RTA용 반강체 동축케이블 안테나

강철준 ,  박성교 ,  문장원 외 1명

대한전자공학회 학술대회

2003 .07

실시간 제어를 위한 고속 열처리 공정에서 웨이퍼 온도 분포 추정 기법

심영태 ,  이석주 ,  김학배

제어로봇시스템학회 논문지

2000 .09