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RTA시스템에서의 Water의 온도 Simulation과 제어방법 ( Water Temperature Simulation and Control Algorithm in RTA System )
대한전자공학회 학술대회
1987 .05
열산화 T${a_2}{O_5}$박막에 미치는 RTA후처리의 영향
한국재료학회지
1993 .01
반응로 벽면 반사효과를 고려한 RTA 설계 ( RTA design considered reactor side wall reflex effect )
대한전자공학회 학술대회
1988 .11
열산화 $Ta_{2}O_{5}$ 박막의 RTA후처리의 영향
한국재료학회 학술발표대회
1992 .01
급속 열처리 시스템에서 웨이퍼의 온도 분포 예측 ( Temperature Simulation of Wafer in Rapid Thermal Processing System )
특정연구 결과 발표회 논문집
1989 .01
급속 열처리 시스템에서 웨이퍼의 온도 분포 예측 ( Temperature Simulation of Wafer in Rapid Thermal Processing System )
한국통신학회 학술대회논문집
1989 .01
산화물 박막 커패시터의 RTA 처리와 유전 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2001 .11
Effects of Rapid Thermal Annealing Temperature on Performances of Nanoscale FinFETs
JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE
2009 .12
RTA에 따른 Sr0.7Bi2.3Nb₂O9 박막의 표면특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2013 .07
RTA에 적용이 가능한 붕소 확산 시뮬레이터의 제작
대한전자공학회 학술대회
1997 .11
RTA에 적용이 가능한 붕소 확산 시뮬레이터의 제작 ( Design of Boron Diffusion Simulator Applicable for RTA )
대한전자공학회 학술대회
1997 .11
Slip 현상을 줄이기 위한 RTA ( 고속열처리 ) 장치 설계모델링 ( RTA System Design Modeling to Reduce Slip )
대한전자공학회 학술대회
1988 .07
Slip 현상을 줄이기위한 RTA(고속열처리)장치 설계모델링
대한전기학회 학술대회 논문집
1988 .07
Slip 현상 및 공정소모 POWER를 최소화하기 위한 RTA 제작 ( RTA Development to Minimize SLIP and Process Power Consumption )
전자공학회논문지
1989 .07
실리콘을 이온주입한 갈륨비소의 RTA에 의한 활성화 특성 ( Activation Characteristics of Si-Implanted GaAs by RTA )
한국통신학회 학술대회논문집
1987 .01
실리콘을 이온주입한 칼륨비소의 RTA에 의한 활성화 특성 ( Activation Characteristics of Si-Implanted GaAs by RTA )
특정연구 결과 발표회 논문집
1987 .01
반도체 웨이퍼의 온도 측정에 관한 연구
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2015 .06
증착온도와 RTA 후처리에 따른 PECVD-W의 Contact 특성
대한전자공학회 학술대회
1995 .01
RTA용 반강체 동축케이블 안테나
대한전자공학회 학술대회
2003 .07
실시간 제어를 위한 고속 열처리 공정에서 웨이퍼 온도 분포 추정 기법
제어로봇시스템학회 논문지
2000 .09
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