다결정 실리콘 TFT에 대한 수소처리 영향 ( Hydroquenation Effects on the Poly-Si TFT )

하형찬; 이상규; 고철기

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자료유형: 학술저널

저자정보: 하형찬 이상규 고철기

저널정보: 대한전자공학회 전자공학회논문지-A 전자공학회논문지 A편 제30권 제1호

발행연도: 1993.1

수록면: 23 - 30 (8page)

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