T-형 패턴형성을 위한 포토레지스트 특성

박병선 ,  유형준 ,  이대엽 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

Linear stepper 형 surface motor의 구동 특성 예측과 과도특성 개선에 관한 연구

최진욱 ,  양선호 ,  박철우

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1998 .10

Evaluation of Lithographic Performance of X-Ray Stepper XS-1

T. Taguchi ,  S. Mitsui ,  Y. Tanaka 외 14명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Nonlinear Observer for Permanent Magnet Stepper Motor

Wonhee Kim ,  Induk Choi ,  Chung Choo Chung 외 1명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

2009 .09

A Study on Nanostructure Fabricated by Stepper Process

E. J. Yeo ,  C. Pa ,  k 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

Optimum placement of the stepper motor on the lift pin up/down drive unit considering the operating temperature limit

Nico S. Effendi ,  Byoung Guk Kim ,  Jeong Sik Pa 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2019 .11

Velocity Control of Permanent Magnet Stepper Motor Using Nonsingular Terminal Sliding Mode Controller

WEIMING YANG ,  Yong Woo Jeong ,  Chung Choo Chung

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

2019 .05

스테퍼 모터를 위한 비선형 제어기법의 개관

김원희 ,  신동훈 ,  이영우 외 1명

제어로봇시스템학회 논문지

2014 .03

Phase Shift Focus Monitor Reticle을 이용한 Stepper 평가 ( Application of Phase Shift Focus Monitor Reticle to the Evaluation of Stepper Lenses )

박정철 ,  계종욱 ,  문성용 외 2명

대한전자공학회 워크샵

1996 .01

노광장비의 스캔방향 최적화를 통한 품질향상 연구

이동석 ,  김찬경 ,  정주성 외 6명

대한전자공학회 학술대회

2008 .05

웨이퍼 스텝퍼의 정렬정확도 측정에 관한 연구

이종현 ,  장원익 ,  이용일 외 5명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

1994 .02

웨이퍼 스텝퍼의 중첩정밀도 측정에 관한 연구

이종현 ,  장원익 ,  이용일 외 7명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

1993 .05

Microstep Stepper Motor Control Based on FPGA Hardware Implementation

So ,  awat Chivap ,  eecha 외 1명

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2005 .06

Electron Beam Direct Writing for Miz-and-Match with Stepper

Sang Bo Lee ,  Yeo Hwan Kim ,  Hye Keun Oh 외 3명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1991 .01

G-선 웨이퍼 스테퍼를 이용한 레지스트 공정 연구 ( Positive Resist Processing Using a G-line Wafer Stepper )

이재신 ,  박종문 ,  최창억 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

원형 나노구조물을 이용한 표면의 광학적 특성 제어에 관한 연구

여은주 ,  육근무 ,  김정환 외 2명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2016 .04

반도체 산업 기술 및 포토레지스트의 기술 동향

김상태 ,  양돈식 ,  박한우 외 1명

고분자 과학과 기술

2005 .02

Registration Accuracy and Critical Dimension Control for Sub-Halfmicron Device with Deep UV Stepper

I. S. Hwang ,  D. S. Kim ,  S. J. Lim 외 3명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1991 .01

Adaptive Lyapunov-based Control in Microstepping for Permanent Magnet Stepper Motors

Donghoo Shin ,  Wonhee Kim ,  Dong gyu Gang 외 1명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

2010 .05