스테퍼와의 혼합 묘화를 위한 전자 빔 직접 묘화 기술에 관한 연구 ( A Study of the Electron-beam Direct Writing Technique for Mix-and-Match with Stepper )

이상보 ,  유상기 ,  김여환 외 2명

전자공학회논문지-A

1992 .05

전자빔을 이용한 중금속이온 (Cr⁺⁶) 의 제거

권기식 ,  이홍승 ,  김병남 외 4명

대한환경공학회 학술발표논문집

1999 .04

Linear stepper 형 surface motor의 구동 특성 예측과 과도특성 개선에 관한 연구

최진욱 ,  양선호 ,  박철우

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1998 .10

Evaluation of Lithographic Performance of X-Ray Stepper XS-1

T. Taguchi ,  S. Mitsui ,  Y. Tanaka 외 14명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Optical Stepper 의 이중노광에 의한 미세한 포토레지스트 패턴의 형성 ( Very Fine Photoresist Pattern Formation using Double Exposure of Optical Wafer Stepper )

양전욱 ,  김봉렬 ,  박철순 외 1명

전자공학회논문지-A

1994 .07

Characteristics of Electron Beam Extraction in Large Area Electron Beam Generator

Sung-Hun Woo ,  Hong-Sik Lee

KIEE International Transactions on Electrophysics and Applications

2004 .02

Nonlinear Observer for Permanent Magnet Stepper Motor

Wonhee Kim ,  Induk Choi ,  Chung Choo Chung 외 1명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

2009 .09

A Study on Nanostructure Fabricated by Stepper Process

E. J. Yeo ,  C. Pa ,  k 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

Optimum placement of the stepper motor on the lift pin up/down drive unit considering the operating temperature limit

Nico S. Effendi ,  Byoung Guk Kim ,  Jeong Sik Pa 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2019 .11

Velocity Control of Permanent Magnet Stepper Motor Using Nonsingular Terminal Sliding Mode Controller

WEIMING YANG ,  Yong Woo Jeong ,  Chung Choo Chung

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

2019 .05

스테퍼 모터를 위한 비선형 제어기법의 개관

김원희 ,  신동훈 ,  이영우 외 1명

제어로봇시스템학회 논문지

2014 .03

Phase Shift Focus Monitor Reticle을 이용한 Stepper 평가 ( Application of Phase Shift Focus Monitor Reticle to the Evaluation of Stepper Lenses )

박정철 ,  계종욱 ,  문성용 외 2명

대한전자공학회 워크샵

1996 .01

전자빔에 의한 계면경사 Ni(50%)-Cr(50%)/Steel 재료 제조에 관한 연구

김재현 ,  김도훈

한국레이저가공학회 학술대회 논문집

1999 .01

주사 전자 현미경에서 전자빔 프르브 생성

임선종 ,  이찬홍

한국생산제조학회지

2008 .10

고밀도 전자빔 Finishing 장비의 전자빔 집속 시스템 설계

임선종 ,  최지연 ,  강은구 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .10

High-Energy Beam Technology for Material Processing ( Electron Beam and Laser )

Ing. Schwa ,  z ,  Messe 외 2명

대한용접학회 특별강연 및 학술발표대회 개요집

1987 .01

Microstep Stepper Motor Control Based on FPGA Hardware Implementation

So ,  awat Chivap ,  eecha 외 1명

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2005 .06

Electron beam 용접전원 system의 제어 기술 ( Power Supply System of Electron Beam Welder )

고상근 ,  정기형 ,  김상호

대한용접·접합학회지

1996 .06

고밀도 전자빔 소스 개발 및 표면 피니싱 특성

강은구 ,  김한수 ,  김진석 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2012 .05

고밀도 전자빔 Finishing 장비의 전자빔 집속

임선종 ,  최지연 ,  강은구 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .06