Flexible 디스플레이로의 응용을 위한 플라스틱 기판 위의 박막트랜지스터의 제조

배성찬; 오순택; 최시영

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자료유형: 학술저널

저자정보: 배성찬 오순택 최시영

저널정보: 대한전자공학회 전자공학회논문지-SD 전자공학회논문지 SD편 제40권 제7호

발행연도: 2003.7

수록면: 13 - 17 (5page)

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25 μm 두께의 폴리이미드 박판 기판을 glass 기판에 부착하여 최대 온도 150℃에서 비정질 실리콘 TFT를 제작하였다. 본 논문은 plastic 기판 위에 TFT가 제작되는 공정 절차를 요약하고 glass 위에 제작된 TFT와 ON/OFF 전달특성과 전계효과 이동도를 서로 비교해 보았다. a-SiN:H 코팅층은 plastic 기판의 표면 거칠기를 감소시키는 중요한 역할을 하여 TFT의 누설전류를 감소시키고 전계효과 이동도를 증가시켰다. 따라서 a-SiN:H 코팅층을 이용하여 plastic 기판에 양질의 TFT를 제작하였다.

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오순택

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최시영

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