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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2002.6
- 수록면
- 290 - 297 (8page)
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A cluster tool for semiconductor manufacturing is an integrated device that consists of several single wafer processing modules and a wafer transport module based on a robot. The distributed module
controllers are integrated by an inter-module communication network and coordinated by a centralized controller, called a cluster tool controller(CTC). Since the CTC monitors and coordinates the
distributed complex module controllers for advanced process control, complex communication messaging and services between the CTC and the module controllers are required. A SEMI standard, CTMC
(Cluster Tool Module Communication), specifies application-level communication service requirements for inter-module communication. We propose the use of high-level fieldbuses, for instance, PROFIBUS-FMS, for implementing CTMC since the high-level fieldbuses are well suited for complex real-time distributed manufacturing control applications. We present a way of implementing CTMC using PROFIBUS-FMS as the communication enabler. We first propose
improvements of a key object of CTMC for material transfer and the part transfer protocol to meet the functional requirements of modern advanced cluster tools. We also discuss mapping objects and services of CTMC to PROFIBUS-FMS communication objects and services. Finally, we explain how to implement the mappings.
controllers are integrated by an inter-module communication network and coordinated by a centralized controller, called a cluster tool controller(CTC). Since the CTC monitors and coordinates the
distributed complex module controllers for advanced process control, complex communication messaging and services between the CTC and the module controllers are required. A SEMI standard, CTMC
(Cluster Tool Module Communication), specifies application-level communication service requirements for inter-module communication. We propose the use of high-level fieldbuses, for instance, PROFIBUS-FMS, for implementing CTMC since the high-level fieldbuses are well suited for complex real-time distributed manufacturing control applications. We present a way of implementing CTMC using PROFIBUS-FMS as the communication enabler. We first propose
improvements of a key object of CTMC for material transfer and the part transfer protocol to meet the functional requirements of modern advanced cluster tools. We also discuss mapping objects and services of CTMC to PROFIBUS-FMS communication objects and services. Finally, we explain how to implement the mappings.
목차
Abstract
1. 서론
2. 클러스터 툴 모듈 통신
3. CTMC 의 분석과 개선
4. CTMC 객체의 PROFIBUS-FMS 객체로의 대응
5. CTMC 서비스 대응
6. PROFIBUS-FMS 구현
7. 결론
참고 문헌
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