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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2003.4
- 수록면
- 1,254 - 1,261 (8page)
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In this paper we present a simple and efficient robust optimal design formulation and its application to a
resonant-type micro probe. The basic idea is to use the Gradient Index (GI) to improve robustness of the
objective and constraint functions. In the robust optimal design procedure, a deterministic optimization for
performance of MEMS structures is followed by design sensitivity analysis with respect to uncertainties such
as fabrication errors and change of operating conditions. During the process of deterministic optimization
and sensitivity analysis, dominant performance and uncertain variables are identified to define GI. The GI is
incorporated as a term of objective and constraint functions in the robust optimal design formulation to make
both performance and robustness improved. While most previous approaches for robust optimal design
require statistical information on design variations, the proposed GI based method needs no such information
and therefore is cost-efficient and easily applicable to early design stages. For the micro probe example,
robust optimums are obtained to satisfy the targets for the measurement sensitivity and they are compared in
terms of robustness and production yield with the deterministic optimums through the Monte Carlo simulation.
resonant-type micro probe. The basic idea is to use the Gradient Index (GI) to improve robustness of the
objective and constraint functions. In the robust optimal design procedure, a deterministic optimization for
performance of MEMS structures is followed by design sensitivity analysis with respect to uncertainties such
as fabrication errors and change of operating conditions. During the process of deterministic optimization
and sensitivity analysis, dominant performance and uncertain variables are identified to define GI. The GI is
incorporated as a term of objective and constraint functions in the robust optimal design formulation to make
both performance and robustness improved. While most previous approaches for robust optimal design
require statistical information on design variations, the proposed GI based method needs no such information
and therefore is cost-efficient and easily applicable to early design stages. For the micro probe example,
robust optimums are obtained to satisfy the targets for the measurement sensitivity and they are compared in
terms of robustness and production yield with the deterministic optimums through the Monte Carlo simulation.
목차
Abstract
1. 서론
2. 강건 최적 설계 수식화
3. 공진형 미소탐침의 강건 최적 설계
4. 결론
후기
참고문헌
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