반도체 공정에 이용되는 지능형 천장 반송 시스템의 최적 중앙제어

김학선; 오진석

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김학선 오진석

저널정보: 한국마린엔지니어링학회 Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET) 한국박용기관학회지 제28권 7호

발행연도: 2004.11

수록면: 123 - 128 (6page)

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There is an Overhead Hoist Transport(OHT) for delivering the wafer in semiconductor processing. The transfer system is consists of carrier. vehicle. rail. and support. OHTCMS(OHT Control and Management System) has to take the feature, such as the optimal control and integration with several OHT. In this paper. ESRA(Efficiency of Shortest - Route Algorithms) is proposed which can be transported optimal route and be prevented collision using the Floyd-Warshall algorithms. The proposed algorithm is verified through consecutive simulation for a long time.

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