Fabrication and Drive Test of a Peristaltic Thermopnumatic PDMS Micropump

Ok Chan Jeong; Sin Wook Park; Sang Sik Yang

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자료유형: 학술저널

저자정보: Ok Chan Jeong Sin Wook Park Sang Sik Yang

저널정보: 대한기계학회 Journal of Mechanical Science and Technology Journal of Mechanical Science and Technology Vol.19 No.2

발행연도: 2005.2

수록면: 649 - 654 (6page)

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This paper presents fabrication and drive test of a peristaltic PDMS micropump actuated by the thermopneumatic force The micropump consists of the three peristaltic-type actuator chambers with microheaters on the glass substrate and a microchannel connecting the chambers and the inlet/outlet port The micropump is fabricated by the spill-coating process, the two-step curing process, the JSR (negative PR) molding process, and etc The diameter and the thickness of the actuator diaphragm are 2 5 mm and 30 ㎛, respectively The meniscus motion in the capillary tube is observed with a video camera and the flow rate of the micro pump is calculated through the frame analysis of the recorded video data. The maximum flow rate of the micro-pump is about 0.36 μL/ sec at 2 Hz for the zero hydraulic pressure difference when the 3-phase input voltage is 20 V.

참고문헌 (6)

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Esashi, M., Shoji, S. and Nakano, A., 1989 "Normally Closed Microvalve and Micropump Fabricated on a Silicon Wafer," Sensors Actuators A, Vol.20, pp.163~169.

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Junceker, D., Schmid, H., Bernard, A., Caelen, I., Michel, B., Rooij, N. and Delamarche, E., 2001, "Soft and Rigid Two-Level Microfluidic Networks for Patterning," Journal of Micromechanics and Microengineering, Vol 11, pp 532~541

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Sang Sik Yang

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