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저자정보
Sewan Park (서울대학교) Yeonsu Jang (서울대학교) Hyeon Cheol Kim (울산대학교) Kukjin Chun (서울대학교)
저널정보
대한전자공학회 ITC-CSCC :International Technical Conference on Circuits Systems, Computers and Communications ITC-CSCC : 2008
발행연도
2008.7
수록면
1,149 - 1,152 (4page)

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This paper describes a microelectromechanical systems (MEMS) micromachined drug delivery system with micropump and microchannel for neural probe capable of selectively delivering chemicals as well as electrically recording. The neural probe is developed to support research in neurophysiology. For the realization of chemical stimulating at controlled release rate, the micropump and fluidic microchannel are integrated. The micropump is a peristaltic type with diffuser/nozzle elements actuated by the piezoelectric force. The process for the neural probe are performed with one silicon wafer. The structure of neural probe, microchannel and chamber of micropump are defined by silicon deep etch process. The membrane of micropump and dielectric passivation layer is fabricated by polydimethylsiloxane (PDMS).

목차

Abstract
1. Introduction
2. Design
3. Fabrication
4. Results and Discussion
5. Conclusions
Acknowledgement
References

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