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한국기계가공학회 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 한국기계가공학회 2005년도 춘계학술대회 논문집
발행연도
2005.6
수록면
389 - 391 (3page)

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The probe sensor system that can measure and manufacture precisional micro parts or optical parts with nanometer range resolution was demonstrated. The system's design is considerated flexibly according to the objective that is the target material caracteristics and to measure ... 전체 초록 보기

목차

ABSTRACT

1. 서론

2. 본론

3. 결론

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