메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
대한기계학회 Journal of Mechanical Science and Technology Journal of Mechanical Science and Technology Vol.19 No.8
발행연도
2005.8
수록면
1,544 - 1,553 (10page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

초록· 키워드

오류제보하기
In this article, a micro cantilever array actuated by PZT films is designed and fabricated for micro fluidic systems. The design features for maximizing tip deflections and minimizing fluid leakage are described. The governing equation of the composite PZT cantilever is derived and the actuating behavior predicted. The calculated value of the tip deflection was 15㎛ at 5 V. The fabrication process from SIMOX (Separation by oxygen ion implantation) wafer is presented in detail with the PZT film deposition process. The PZT films are characterized by investigating the ferroelectric properties, dielectric constant, and dielectric loss. Tip deflections of 12㎛ at 5 V are measured, which agreed well with the predicted value. The 18㎍/s leakage rate of air was observed at a pressure difference of 1000 Pa. Micro cooler is introduced, and its possible application to micro compressor is discussed.

목차

Abstract

1. Introduction

2. Theory

3. Experimental Results

4. Discussion

5. Conclusions

Acknowledgments

References

참고문헌 (14)

참고문헌 신청
DeVoe, D. L. and Pisano, A. P., 1997, "Modeling and Optimal Design of Piezoelectric Cantilever Microactuators," Journal of Microelectromechanical Systems, Vol.6, pp.266~270. google schola Du, L., Kwon, G., Ami, F., Fukuda, T., Itoigawa, K. and Tukahara, Y., 2003, "Structure Design of Micro Touch Sensor Array," Sensors and Actuators A: Physical, Vol.107, pp.7~13. google schola Flynn, A. M., Tavrow, L. S., Bart, S. F., Brooks, R. A., Ehrlich, D. J., Udayakumar, K. R. and Cross, L. E., 1992, "Piezoelectric Micromotors for Microrobots," Journal of Microelectromechanical Systems, Vol.1, pp.44~51. google schola Galassi, C., Dinescu, M., Uchino, K. and Sayer, M., 1999, Piezoelectric Materials : Advances in Science, Technology and Applications, Kluwer Academic Publishers. google schola Itoh, T., Lee, C., Sasaki, G. and Suga, T., 1996, "Sol-gel Derived PZT Force Sensor for Scanning Force Microscopy," Materials Chemistry and Physics, Vol.44, pp.25~29. google schola

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-550-017850279