RF-Magnetron Sputtering법으로 제작된 금속 PCB용 AlN 절연층의 특성

박정식 ,  류성원 ,  배강 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

RF 마그네트론 스퍼터링법에 의하여 증착한 AlN와 ZnO 박막의 성장기구에 관한 투과전자현미경 연구

최재형 ,  이정용

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .02

RF Magnetron Sputtering 법으로 제조된 AIN 박막에 관한 연구

남창길 ,  최승우 ,  천희곤 외 1명

Applied Science and Convergence Technology

1997 .02

In - situ x - ray scattering studies of AlN thin films on sapphire substrates by RF magnetron sputtering

S.H.Seo ,  M.S.Yi ,  H.C.Kang 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02

Growth of AlN Thin Film on Sapphire Substrates and ZnO Templates by RF-magnetron Sputtering

Hyunseok Na

Applied Science and Convergence Technology

2010 .01

Effect of post heat-treatment on microstructure and dielectric properties of Ba_0.5Sr_0.5TiO₃ thin films by RF magnetron sputtering

Chil-Hyoung Lee ,  Doo-Jin Choi ,  Young-Jei Oh

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

박막 형광체 ZnGa₂O₄:Mn²⁺의 RF Magnetron Sputtering법을 이용한 생장

박재홍 ,  이성훈 ,  하성진 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .02

RF magnetron sputtering 법으로 제조한 ZnO 박막의 RF 파워에 따른 특성

김종욱 ,  김민석 ,  이인환 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

Influence of surface energy on the microstructure evolution of AlN films synthesized by D.C magnetron sputtering

Y. M. Chung ,  M. J. Min ,  Y. M. Kim 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .02

Rf magnetron sputtered Co79Cr₂₁ 박막의 자기이방성

백종성 ,  김약연 ,  임우영 외 3명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

1991 .05

Effects of Sputtering power and targetsubstrate distance on the microstructures of AlN thin films fabricated by reactive RF sputtering

김부경 ,  김병균 ,  노용한

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .08

RF Magnetron Sputtering를 이용한 a축 ZnO:Al 박막의 구조적, 전기적 특성 연구

Junyoung Kang ,  Hyeongsik Pa ,  k 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Study on ZnS Thin Films Prepared by RF Magnetron Sputtering

황동현 ,  안정훈 ,  손영국

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .08

Effect of 12CaOㆍ7Al₂O₃thin film in reactive gasses by RF magnetron sputtering system

Phan Huu Tai ,  C. H. Jung ,  Y. K. Kang 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .08

RF Magnetron Sputtering법에 의해 증착된 Ni - Zn Ferrite 박막의 물성 연구

공선식 ,  조해석 ,  김형준

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .02

Study on Optical and Electrical Properties of IGZO Thin Film According to RF Power Fabricated by RF Magnetron Sputtering

장야쥔 ,  황창수 ,  김홍배

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .08

RF magnetron sputtering법으로 형성된 ZnO 박막의 RF 파워 및 공정 압력이 미치는 영향

김종욱 ,  황창수 ,  김홍배

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

The cross - over of the growth orientation in AlN(0002) / Si(001) films during off - axis RF sputter growth.

H. W. Jang ,  M. S. Yi ,  D. Y. Noh

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .02

RF magnetron sputtering과 O₂ plasma ashing 공정을 이용한 다공성 구조 박막 제작 및 특성 분석

장성우 ,  황세훈 ,  윤정현 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02