Growth of AlN Thin Film on Sapphire Substrates and ZnO Templates by RF-magnetron Sputtering

Hyunseok Na

Applied Science and Convergence Technology

2010 .01

반응성 RF Magnetron Sputtering법으로 제조된 AlN박막의 증착 변수들이 굴절율에 미치는 영향

남창길 ,  최승우 ,  조동율 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

반응성 RF 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 AlN 박막의 기판 온도 변화에 따른 특성 분석

김병균 ,  이을택 ,  박재경 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .02

rf 마그네트론 스퍼터링법에 의한 ZnO / SiO₂ / Si박막의 증착 및 특성조사

박희대 ,  김경식 ,  이충섭 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

RF magnetron sputtering 법으로 제조한 ZnO 박막의 RF 파워에 따른 특성

김종욱 ,  김민석 ,  이인환 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

RF Magnetron Sputtering를 이용한 a축 ZnO:Al 박막의 구조적, 전기적 특성 연구

Junyoung Kang ,  Hyeongsik Pa ,  k 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

반응성 고주파 마그네트론 스퍼터링 방법에 의한 AlN 압전박막 증착 및 특성에 관한 연구

황지현 ,  권명회 ,  김형택

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02

AlN를 도핑시킨 ZnO박막의 전기적 및 광학적 특성

손이슬 ,  김겸룡 ,  이강일 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

RF magnetron sputtering법으로 성장시킨 ZnO박막의 광특성과 grain size의 영향에 관한 연구

김경국 ,  박성주 ,  정형진 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

RF Magnteron Sputtering법으로 증착한 ZnO 박막의 구조적, 광학적 특성

정영의 ,  조창우 ,  박성균

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

RF magnetron sputtering법으로 형성된 ZnO 박막의 RF 파워 및 공정 압력이 미치는 영향

김종욱 ,  황창수 ,  김홍배

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

반응성 r.f. 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 ZnO 박막의 물성과 압전특성

신진성 ,  임원택 ,  이창효

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .07

산소 유량비 변화에 따른 AlN 박막의 구조, 표면 및 광학적 특성

조신호 ,  김문환

Applied Science and Convergence Technology

2010 .07

RF Sputtering 방법으로 증착시킨 ZnO:Ag 박막의 광학적 특성 연구

안병곤 ,  강현철

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

The effect of ZnO buffer layer on the structural and electrical properties in the ZnO:(Al,P) thin films by the RF-magnetron sputtering

김창훈 ,  신승학 ,  이준형 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

RF-Magnetron Sputtering법으로 제작된 금속 PCB용 AlN 절연층의 특성

박정식 ,  류성원 ,  배강 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

The cross - over of the growth orientation in AlN(0002) / Si(001) films during off - axis RF sputter growth.

H. W. Jang ,  M. S. Yi ,  D. Y. Noh

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .02

RF - Magnetron co - sputtering법으로 제작한 ZnO : Fe 박막의 강자성 원인연구

유장현 ,  권순주

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2005 .12

[보호진공과학상] RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 ZnO:Al 박막의 열공정에 따른 특성

김덕규

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

Structural and Electrical Properties of a-axis ZnO:Al Thin Films Grown by RF Magnetron Sputtering

봉성재 ,  김선보 ,  안시현 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02