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분광타원해석법을 이용한 AlN 박막 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
Plastic film의 투명 보호막 적용을 위한 PECVD법으로 제작된 SiOx 박막연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
[재료]기판온도와 열처리온도의 변화에 따른 Au/Cr, Au/Ni/Cr 및 Au/Pd/Cr 다층박막의 AES 분석
분석과학
1993 .05
OMA를 사용한 고속분광타원해석기의 제작과 in - situ 박막성장분석
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .02
RF스퍼터링으로 제작한 ZnS 박막의 분광타원해석
한국진공학회 학술발표회초록집
1993 .07
Sol-gel 법으로 제작된 ZrO2 박막의 분광타원편광분석 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
실시간 분광 Ellipsometry를 이용한 금속 박막의 성장 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
Si(001)2×1 표면에 성장된 극초박막에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
질소ECR 플라즈마에 노출된 Al 박막의 분광타원해석
한국진공학회 학술발표회초록집
1993 .02
SPUTTERING법에 의해 성장시킨 PZT박막의 표면 분석
Applied Science and Convergence Technology
1996 .06
Al(111) 표면 위에 성장시킨 Ag 초박막의 성장 구조
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
스퍼터링 챔버에 설치한 in - situ 타원해석기의 성능평가
Applied Science and Convergence Technology
1994 .06
저온프로세스를 이용한 Si1-xGex 박막 제작
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
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