지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 1994.6
- 수록면
- 166 - 172 (7page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
박막이 성장하는 동안 박막성장 상태를 관찰하기 위한 in-situ 타원해석기를 제작하였다. 이 타원해석기는 He-Ne 레이저를 광원으로 사용하며 회전검광자형으로 광량측정방식을 채택하였다. 이 타원해석기는 편광자 모듈과 검광자 모듈 및 제어부로 구성되어 있으며 이들 모듈은 각각 스퍼터링 챔버에 부착되었다. c-Si 기판 위에 열산화 과정으로 성장시킨 SiO₂ 박막을 표준시료로 사용하여 보정 및 성능평가를 하였다. 또한 RF 스퍼터링으로 c-Si 기판 위에 SiO₂ 박막을 성장시키면서 타원해석상수 ψ, △을 측정하고 근사적 모델에 의한 ψ, △의 전산모의 성장곡선과 비교해 보았다.
목차
요약
Abstract
1. 서론
2. 이론
3. 실험장치
4. 보정과정
5. 성능평가 및 토의
6. 결론
감사의 글
참고문헌
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
스퍼터링 챔버에 설치한 in - situ 타원해석기의 성능 평가
한국진공학회 학술발표회초록집
1994 .02
-
보급형 He - Ne 타원해석기의 제작과 TiO₂ 박막 유효밀도 변화의 in situ 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
-
OMA를 사용한 고속분광타원해석기의 제작과 in - situ 박막성장분석
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .02
-
분광타원법을 이용한 스퍼터된 V₂O₅ 박막의 성장특성 조사
Applied Science and Convergence Technology
2007 .03
-
보급형 He - Ne 타원해석기의 제작과 TiO₂ 박막 유효밀도 변화의 in - situ 측정
Applied Science and Convergence Technology
1999 .11
-
RF스퍼터링으로 제작한 ZnS 박막의 분광타원해석
한국진공학회 학술발표회초록집
1993 .07
-
동시 스퍼터링법으로 Si(100) 및 SiO₂/Si(100) 기판에 증착된 NixFe100-x 박막의 결정상 및 자기적 특성 변화
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2009 .12
-
실시간타원해석법을 이용한 Au박막의 성장연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .06
-
Effect of Rapid Thermal Annealing on the Properties of Nitrogen-doped In2O3 Thin Films
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
-
Si(001)2×1 표면에 성장된 극초박막에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
-
rf 마그네트론 스퍼터링법에 의한 ZnO / SiO₂ / Si박막의 증착 및 특성조사
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .06
-
Reactive RF Magnetron Sputtering에 의해 성장된 Si(100)과 Si(111) 기판 위에 증착된 CeO₂ 박막의 구조적, 전기적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2019-420-001265933