Ion Beam Induced Processes in Sputtering of Ta₂O5 / Si Interfaces.

문대원 ,  김경중 ,  김상열

한국진공학회 학술발표회초록집

1993 .02

ION BEAM RESEARCH IN SIM

Liu Xianghuai ,  Yang Genqing ,  Zou Shichang

한국진공학회 학술발표회초록집

1994 .02

Topographic Development on Ion Beam Sputtered Surfaces.

문대원 ,  김경중 ,  K.Yoshiha 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1993 .07

반도체 산업에서의 XPS 및 AFM 분석 기술

김안순 ,  신채호

진공이야기

2016 .12

Methodological development of topographic correction in 2D/3D ToF-SIMS images using AFM images

Seokwon JUNG ,  Nodo LEE ,  Jungmin LEE 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Interactions of oxygen with Pd films on Ta : In-situ XPS study

Hyun Ook Seo ,  Kwang-Dae Kim ,  Wei Sheng Tai 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

Characterization of SrBi₂Ta₂O9 thin films prepared by sputtering method by using AFM and XPS

추정우 ,  박주상 ,  김영관 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .02

Characterization of SrBi₂Ta₂O9 thin films prepared by Sol - Gel process using AFM and XPS

추정우 ,  김영관 ,  손병청 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .06

Applications of XPS and SIMS for the development of Si quantum dot solar cell

김경중 ,  홍승휘 ,  김용성 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .08

The Conceptual Design of Gas Cluster Ion Source for Analytical Equipment

Mi Sook Won ,  Byoung Seob Lee ,  Myoung Choul Choi 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

XPS, FTIR, AFM 분석에 의한 유기박막특성

현일섭 ,  한세훈 ,  박현진 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .08

Mechanisms of Topographic Development on Ni Surface by Reactive Ion Beam Sputtering

Kyung Joong Kim ,  Dae Won Moon ,  Kyung-Hoon Jung

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .02

The structure of the Si - SiO₂ interface formed by oxygen ion beam bombardment and high temperature annealing

Young Pil Kim ,  Si Kyung Choi ,  Hyung Kyong Kim 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .02

Study of Annealed Ti / Si02 interface reaction using XPS

김영남 ,  이내인 ,  문환구 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .07

XPS를 이용한 Co / Si(100)의 계면반응

황의영 ,  김종호 ,  강희재

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .07

Photoemission spectroscopy of Ta₂O5 / Si(001) and Ta₂O5 / SiO₂ / Si(001) along its depth.

Ki-jeong Kim ,  T.-H. Kang ,  Y.J. Pa 외 10명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .07

Growth and Chracterization of Ta₂05 Thin Films on Si by Ion Beam Sputter Deposition

K. S. Pa ,  k ,  D. Y. Lee 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

Applications of Ar Gas Cluster Ion Beam Sputtering to Ta₂O₅ thin films on SiO₂/Si (100)

Chanae Pa ,  k ,  HongChol Chae 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

Analysis of corrosion on the Al(Cu 1%) surface using XPS

Sang-Gi Kim ,  Kyu-Ha Baek ,  Kwang-Ho Kwon 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .02

Nanocrystalline Si formation inside SiN_x nanostructures usingionized N₂ gas bombardment

Min-Che ,  l Jung ,  Young Ju Pa 외 6명

Applied Science and Convergence Technology

2007 .11