반도체 산업에서의 XPS 및 AFM 분석 기술

김안순 ,  신채호

진공이야기

2016 .12

Applications of Ar Gas Cluster Ion Beam Sputtering to Ta₂O₅ thin films on SiO₂/Si (100)

Chanae Pa ,  k ,  HongChol Chae 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

Analysis of corrosion on the Al(Cu 1%) surface using XPS

Sang-Gi Kim ,  Kyu-Ha Baek ,  Kwang-Ho Kwon 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .02

XPS 분석시 야기되는 유기 고분자의 degradation에 관한 연구

김태형 ,  이종완

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02

XPS를 이용한 ㎚급 산화막 박막 두께 측정법 연구

박기태 ,  이종완 ,  김경중 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .08

Interaction of suppressor additives with Cu seed:Electrochemical, XPS, SEM and AFM results

Jung-Hye Seo ,  Youn-Seoung Lee ,  KiminHong 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

AFM을 이용한 TFT-LCD 박막 특성 분석

최재하 ,  이석열 ,  이임수 외 1명

한국분석과학회 학술대회

2008 .11

Characterization of SrBi₂Ta₂O9 thin films prepared by sputtering method by using AFM and XPS

추정우 ,  박주상 ,  김영관 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .02

Plastic film의 투명 보호막 적용을 위한 PECVD법으로 제작된 SiO_x 박막연구

정유정 ,  윤정흠 ,  이성훈 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .08

A study of cell viability measurement by using FTIR

Yoon Sook Na ,  Sangmo Shin

한국분석과학회 학술대회

2019 .05

Characterization of SrBi₂Ta₂O9 thin films prepared by Sol - Gel process using AFM and XPS

추정우 ,  김영관 ,  손병청 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .06

Oxygen Ion Beam Induced Abnormal Topographic Development at the Ta / Si Interface Studied by SIMS, XPS, and AFM

K. T. Kim ,  D. W. Moon ,  I. C. Jeon

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

Conductive Atomic Force Microscopy(C-AFM)를 이용한 GaSb 상변화 메모리 전기적 특성 분석

유연재 ,  신주현 ,  허주혁 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Open-path FTIR을 이용한 대기 오염물질 실시간 측정 ( Real-time Monitoring of Air Pollutants by using Open-path FTIR )

홍대웅 ,  조석연 ,  윤두훈 외 3명

한국대기환경학회 학술대회논문집

2000 .11

Plasma 처리한 유기 절연층을 갖는 유기 박막 트랜지스터의 전기적 특성 연구

김연주 ,  박재훈 ,  강성인 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .02

Organic co-solvents mediated variation in anion-water hydrogen bonding in [Bmim][BF₄] ionic liquid through FTIR spectroscopy

Manna ,  A ,  pan 외 2명

Rapid communication in photoscience : RCP

2015 .01

Current Problems in the Quantization of the XPS

Chanyong Hwang

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .02

전처리 조건에 따른 구리박막 표면에서의 특성변화

노상수 ,  최은혜 ,  T. K. Samuel 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02