Ion Beam Etching (IBE) system에서의 Radical 제어 연구

김두산 ,  김건우 ,  장윤종 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

이온 빔 에칭에서의 퍼말로이 박막의 에칭특성

김성동 ,  이정중 ,  임상호 외 1명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

1996 .11

Exchange Effects in Iron Films Grown on Si(100) Substrates

Wenhong Wang ,  Fumiyoshi Takano ,  Hi 외 4명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2007 .05

ICP가 sputtered poly - Si thin film에 미치는 영향

주정훈 ,  박원규

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02

The Electrical Characteristics of Low-Temperature Poly-Si Thin-Film Transistors by Different Crystallization Methods

김문수 ,  장경수 ,  이준신

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

박막소자응용을 위한 Mo 기판 위에 고온결정화된 poly - Si 박막연구

김도영 ,  서창기 ,  심명석 외 2명

Applied Science and Convergence Technology

2003 .06

Analysis of Poly - Si Films Crystallized by Laser Annealing and Thin Film Transistor Characteristics

김용해 ,  황치선 ,  최성호 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .06

A first principles study on magnetism of Fe3Si on Si(001) and Si(111) substrates

Do ,  j Odkhuu ,  Won Seok Yun 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

ELA Poly-Si과 SLS Poly-Si에서 Boron Activation에 관한 연구

홍원의 ,  노재상

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Growth of TiO₂ thin films on Si(100) and Si(111) substrates using MOCVD and comparison of growth behavior and structural properties

C.-K. Jung ,  S.-B. Lee ,  J.-H. Boo

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .02

Chemical Vapor Deposition of Ga₂O₃ Thin Films on Si Substrates

Doo Hyun Kim ,  Seung Ho Yoo ,  Ki-Seok An 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .02

In-situ magnetization measurements and ex-situ morphological analysis of electrodeposited cobalt onto chemical vapor deposition graphene/SiO₂/Si

F ,  anco ,  Vinicius C. De 외 10명

Carbon letters

2017 .01

MICROSTRUCTURES AND ATOMIC BEHAVIORS OF SEVERAL METAL ELECTRODE SYSTEMS ON SiO₂ / Si ANNEALED IN O₂ AND N₂ AMBIENTS : Pt / (POLY - Si, TiN, AND Ti), Ru / POLY - Si, AND Ir / (POLY - Si AND TiN)

Cha Yeon Kim ,  Hyun Ja Kwon ,  Hyun Ha Kim 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .02

Electronic and Optical Properties of Al₂O₃/SiO₂ Thin Films on Si Substrate

Lee Eun Kyoung ,  Tahi ,  Dahlang 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .08

동시 스퍼터링법으로 Si(100) 및 SiO₂/Si(100) 기판에 증착된 Ni_xFe_100-x 박막의 결정상 및 자기적 특성 변화

강대식 ,  남중희 ,  송종한 외 2명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2009 .12

Si - O - C - H 저유전율 박막의 특성 연구 Study of Low - k Si - O - C - H Thin Films

김윤해 ,  이석규 ,  김형준

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

High rate deposition of poly - si thin films using new magnetron sputtering source

Jin-Hyo Boo ,  Heon Kyu Pa ,  k 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02

Measurements of Bias - Potential on the Substrate in the Various Plasma Gas for Wide Bandgap Thin Film

H.C. Lee ,  J.H. Pa ,  k 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .07

Generation of Charged Silicon Nanoparticles and their Deposition into Crystalline Films using DC-Biased Substrate in Silane ICP-CVD Process

Seung-Wan Yoo ,  Shin-Jae You ,  Hee-Jung Yeom 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08