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이용수
1. 서론
2. 실험방법
3. 실험결과
4. 결론
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
The effect of hydrogen on crystallinity of Si thin film prepared by ICP-assisted facing target sputtering
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
High rate deposition of poly - si thin films using new magnetron sputtering source
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
A Review of Inductively Coupled Plasma-Assisted Magnetron Sputter System
Applied Science and Convergence Technology
2019 .09
ICP-AES를 이용한 Al-Si-C 중 Si분석방법
한국분석과학회 학술대회
2016 .05
Synthesis of nano-crystalline Si films on polymer and glass by ICP-assisted RF magnetron sputtering
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
Internal ICP를 이용한 In - line sputter ion plating 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .02
ICP-MS를 이용한 poly-silicon 중 boron 분석
한국분석과학회 학술대회
2013 .05
ICP-MS와 LA-ICP-MS를 이용한 보다 효율적인 미량원소 분석법 연구
대한지질학회 학술대회
2013 .10
ICP-Assisted DC Sputtering 방법을 이용한 Ge 박막의 저온 결정 성장 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
Sputtering 공정 중 발생 된 in-film defect 분석 방법
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
Rare Earth Elements analysis in monazite using Na2O2 sintering and by ICP-MS and ICP-OES
한국분석과학회 학술대회
2015 .11
동시 스퍼터링법으로 Si(100) 및 SiO₂/Si(100) 기판에 증착된 NixFe100-x 박막의 결정상 및 자기적 특성 변화
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2009 .12
Sputter로 증착된 케이트 SiO₂ 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 전기적 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .02
A study of sputter XPS depth profiling of Ta₂O5 / Si without preferential sputtering problems.
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .07
Mechanisms involved in modification of film structure and properties in ICP assisted dc and pulsed dc sputtering
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
Reproducible bias-induced resistance switching in CoOx thin films prepared by a RF sputtering method
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
ELA Poly-Si과 SLS Poly-Si에서 Boron Activation에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
The Electrical Characteristics of Low-Temperature Poly-Si Thin-Film Transistors by Different Crystallization Methods
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
Study on dry-etching of polysilicon films using ICP poly etcher system
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
Correlation Between Microstructure and Optical Properties of In-Si-O Thin Films Grown Using RF Sputtering Deposition
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
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