기판온도변화에 따른 ZnO : Al 박막의 제작

금민종; 조범진; 김현웅; 김경환

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저자정보: 금민종 조범진 김현웅 김경환

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제28회 학술발표회초록집

발행연도: 2005.2

수록면: 115 - 115 (1page)

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