원자층증착법으로 ZnO:Al과 Al₂O₃를 코팅한 ZnO 나노막대의 광학적 특성

신용호; 이수연; 김용민

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자료유형: 학술저널

저자정보: 신용호 (단국대학교) 이수연 (단국대학교) 김용민 (단국대학교)

저널정보: 한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제19권 제5호

발행연도: 2010.9

수록면: 385 - 390 (6page)

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원자층 증착법(Atomic Layer Deposition, ALD)을 이용하여 ZnO 나노막대에 ZnO:Al과 Al₂O₃를 코팅하여 coaxial 형태의 나노선 구조를 제작하여 광학적 특성을 분석하였다. 반도체인 ZnO:Al을 코팅하는 경우 Al이 ZnO층에 확산되어 ZnO에 도핑이 되는 효과를, Al₂O₃를 코팅하는 경우 반도체-절연체 계면 상태가 존재함을 광전이 특성을 이용하여 확인하였다.

#ZnO #Nanowire #Photoluminescence

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1. [학술지(정기간행물)] - Ü. Özgür / 2005 / / J. Appl. Phys. 98 : 041301 ~

2. [학술지(정기간행물)] - 노영수 / 2009 / 버퍼 층을 이용한 RF 마그네트론 스퍼터 방법에 의한 Al:ZnO 박막의 성장 / 한국진공학회지 18 (3) : 213 ~ 220

3. [학술지(정기간행물)] - A. Ohtomo / 1998 / / Appl. Phys. Lett. 72 : 19 ~

4. [학술지(정기간행물)] - O. Bamiduro / 2007 / / Appl. Phys. Lett. 90 : 252108 ~

5. [학술지(정기간행물)] - Junje Seong / 2009 / Optical Transmittance Study by Using a Modified Envelope Analysis for Al-ZnO Thin Films / Journal of the Korean Physical Society 54 (6) : 2396 ~ 2399

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