Sputter로 증착된 케이트 SiO₂ 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 전기적 특성에 관한 연구

박광현; 남승의; 김형준

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 박광현 남승의 김형준

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제10회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1996.2

수록면: 40 - 40 (1page)

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	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

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