Ni - ferrite를 코팅한 Moly - permalloy 분말의 제조 및 특성 평가

박현규 ,  오재희

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2004 .12

Effects of surfactants on the etching of Cr for TFT - LCD application

조동현 ,  오종혁 ,  이지화

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .02

Applications of fluid based plasma simulation : dry etch

주정훈

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

Real-time Advanced Process Control Technology Using Optical Emission Spectroscopy in Dry Etching Process

방진영 ,  김태랑 ,  전중현

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .08

Simulation enhanced optimization for by-product removal during etch process

엄정환 ,  최후미 ,  전수빈 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

Effects of multi-layered active layers on solution-processed InZnO TFTs

Won Seok Choi ,  Byung Jun Jung ,  Myoung Seok Kwon

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

Plasma Dry Etching 방법에 의한 Wafer Backside Etch 특성 평가

한영기 ,  서영수 ,  유재하 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

Selective Etching of Magnetic Layer Using CO/NH₃ in an ICP Etching System

J. Y. Pa ,  k ,  S.-K Kang 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

High Mobility Amorphous Silicon TFT for Large Area TFT - LCDs

장진 ,  우재익 ,  정유찬

한국진공학회 학술발표회초록집

1993 .07

Development of Low Damage Dry Etch to Pattern Sub-10 nm with ACL and High-χ BCP mask

오지수 ,  김교운 ,  신예지 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

투명산화물반도체 a-IGZO TFT를 이용한 인버터 소자의 제작과 그 특성분석

이광준 ,  김준우 ,  정재욱 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

원자층 식각기술

염근영

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

In - situ Plasma Diagnosis with an Optical Emission Spectroscopy during BCl₃- based High - Density Inductively Coupled Dry Etching

조관식 ,  임완태 ,  백인규 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .02

A perspective on patents on dry etching apparatus

Min W. LEE ,  In H. LEE ,  Jun S. LEE 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

플라즈마 식각 공정에서의 미세구조 식각에 관한 이론적 연구

이창덕 ,  박상규

Applied Science and Convergence Technology

1994 .03

Characteristics of sputtered ZnO thin films for active layer of TFT

Yong Seob Pa ,  k ,  Young Ryeol Kim 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

Endpoint Detection in Semiconductor Etch Process Using OPM Sensor

Zeeshan A ,  shad ,  Somang Choi 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

Dry Etching에 의해 제작된 실리콘 미세 구조물

홍석민 ,  임창덕 ,  조정희 외 2명

Applied Science and Convergence Technology

1997 .08

Improving Properties of Transparent TFT using changing properties of Channel Layers

J. K. Pa ,  k ,  Yonghan Roh

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

Study on etching-shape of ZnO Film by wet-chemical etching

Dong Geun Yoo ,  Myoung Hwa Kim ,  Seong Hun Jeong 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .08