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Sub-10 nm 수직 배향 DSA etch profile 향상에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
Cryogenic Etching in Advanced Electronics Manufacturing: Applications and Challenges
Applied Science and Convergence Technology
2024 .09
원자층 식각기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
C₃F6O 가스를 이용한 SiO₂에 대한 식각 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
식각된 LED의 식각 깊이와 식각 각도가 광 추출 효율에 미치는 영향
새물리
2020 .10
Development of Low Damage Dry Etch to Pattern Sub-10 nm with ACL and High-χ BCP mask
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
Atomic layer etching of SiO₂ with low-global warming potential C₄H₃F₇O isomers
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
Etching for Vertical Sidewall Formation in TiO₂ Nanorods
Applied Science and Convergence Technology
2022 .09
Magnetic Properties and Hysteresis Loss Improvement of Fe Alloy Powder by NH₄OH Etching
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2017 .05
다양한 etch gas를 이용한 자성 박막의 식각특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
Simulation enhanced optimization for by-product removal during etch process
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
A study on the ion beam etching characteristics in the high aspect ratio contact
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
PI(Plasma Information) 인자 모니터링을 통한 dry etch process chamber 상태 정량화 및 공정제어 알고리즘 기반 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
Effects of surface etching on microstructure and mechanical strength of carbon fibers
Carbon letters
2018 .01
Effects of pulsed inductively coupled Cl₂/Ar plasma for the etching of Si nanostructure
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
Characteristics of SiO₂ Etching by Capacitively Coupled Plasma with Different Fluorocarbon Liquids (C7F14, C7F8) and Fluorocarbon Gas (C₄F8)
Applied Science and Convergence Technology
2021 .07
Characteristics of SiO₂ Etching in a C4F8/Ar/O₂ pulse modulation capacitively coupled plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
The optimize of chamber recovering conditions in plasma etching processes
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
Quantitative analysis of retained austenite in Nb added Fe-based alloy
한국현미경학회지
2022 .03
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