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한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제13회 학술발표회논문개요집
발행연도
1997.7
수록면
163 - 164 (2page)

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Indium thin oxide (ITO)가 코팅된 유리 위에 Ion beam sputtering deposition (IBSD)방법으로 다이아몬드상 카본(Diamond-like Carbon; DLC)을 합성하여 전계방출 특성을 조사하였다. 박막의 합성은 이온 빔 전압을 1250 V, 전류를 ... 전체 초록 보기

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