PECVD로 성장된 a - Si₁-xCx : H 박막의 광학적 특성 연구

이상욱 ,  이호승 ,  최영순 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02

나노결정질 Si₁-xCx 박막의 성장

이상욱 ,  최영순 ,  이호승 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .07

PECVD 증착조건 변화에 따른 a-C:H 박막의 구조 변화

조영옥 ,  노옥환 ,  윤원주 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02

PECVD로 증착된 Silicon Nitride 박막의 특성연구

이중환 ,  권오준 ,  전무식 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .07

PECVD 방법을 이용한 DLC 박막의 증착

조영옥 ,  조정민 ,  윤원주 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .07

PECVD 공정에 의해 증착된 비정질 실리콘 박막의 특성에 관한 연구

이용수 ,  성호근

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .08

Phase stability and magnetic properties of Mn50Al50-xCx : First-principles calculation and experiment

Sumin Kim ,  Minyeong Choi ,  Yang-ki Hong 외 2명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2018 .03

Toluene precursor를 사용하여 PECVD에 의해 증착된 law - k 유기박막의 증착온도의 특성

권영춘 ,  주종량 ,  정동근

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

Si₃N₄상에 PECVD법으로 형성한 텅스텐 박막의 특성

이찬용 ,  배성찬 ,  이종현 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .07

ECR - PECVD로 증착된 a - C : H 박막의 열처리 효과

손영호 ,  정우철 ,  정재인 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .02

PECVD 증착 변수와 in - situ IR cell 을 이용한 온도별 a - Si : H 의 특성 변화

강진규 ,  박영배 ,  이시우

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .02

Reactive RF Magnetron Sputtering에 의해 성장된 Si(100)과 Si(111) 기판 위에 증착된 CeO₂ 박막의 구조적, 전기적 특성

김진모 ,  김이준 ,  정동근

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

PECVD로 증착한 Ta₂O5 박막의 전기적 특성 Electrical Characterization of Ta₂O5 Thin Films Deposited by PECVD.

김선우 ,  김형준

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .07

PECVD 로 증착한 비정질 실리콘 박막의 고온결정화

오성재 ,  홍원의 ,  노재상

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .02

PECVD를 이용하여 질소분위기에서 증착된 SiNx 박막의 특성 분석

공대영 ,  박승만 ,  이준신

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

ECR - PECVD 방법으로 증착된 a-C:H 박막의 수소함량 측정

손영호 ,  허영준 ,  정우철 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .07

PECVD로 증착된 a - Si : H의 고상결정화에 있어서 기판온도의 영향

육영춘 ,  나유석 ,  이정근

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .07

p - Xylene precursor를 사용한 low k 유기박막의 PECVD 증착 및 전기적특성

권영춘 ,  주종량 ,  정동근

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .02

입체표면형상 구조위에 PECVD로 증착된 Ta₂O5 유전박막의 특성

조용범 ,  이경우 ,  천희곤 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

1993 .07

Si(001)2×1 표면에 성장된 극초박막에 관한 연구

Hyun-Jeong Kim ,  Robe ,  t L. Johnson

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02